江蘇格林達蝕刻液產品介紹

來源: 發布時間:2025-04-14

    本實用新型涉及資源回收再利用領域,特別是涉及含銅蝕刻液氣液分離裝置。背景技術:線路板生產工業中,會對已經使用于蝕刻線路板的含銅蝕刻廢液進行回收利用,在回收過程中,廢液在加熱器中通過蒸汽進行換熱,換熱完的廢液在高溫狀態下進入分離器,會在分離器中發生閃蒸,閃蒸產生的二次蒸汽中,攜帶有大小不等的液滴,現有技術因缺乏有效的分離氣液的手段,含有銅的液體隨著蒸汽被排走,導致了產品發生損失。技術實現要素:基于此,有必要針對現有技術氣液分離率低的問題,提供一種含銅蝕刻液氣液分離裝置。一種含銅蝕刻液氣液分離裝置,包括分離器及加熱器,所述分離器設有液體入口、蒸汽出口及濾液出口,所述液體入口用于將加熱器產生的液體輸入至分離器中,所述液體入口處設有減壓閥,所述蒸汽出口處設有真空泵、除霧組件及除沫組件,所述除霧組件用于過濾分離器中閃蒸的蒸汽中的含銅液體,所述除沫組件用于將經除霧組件除霧的氣體進行除沫。在其中一個實施例中,所述除霧組件為設有多個平行且曲折的通道的折流板。在其中一個實施例中,所述除沫組件為絲網。在其中一個實施例中,所述分離器設有液位計、液位開關、液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器。在其中一個實施例中。BOE蝕刻液多少錢一噸?江蘇格林達蝕刻液產品介紹

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    本實用新型有關于一種擋液板結構與以之制備的蝕刻設備,尤其是指一種適用于濕式蝕刻機的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產品損耗的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備。背景技術:請參閱圖1所示,為傳統擋液板結構的整體設置示意圖,其中一實心pvc板態樣的擋液板結構a設置于一濕式蝕刻機(圖式未標示)內,主要用以阻擋一蝕刻藥液(圖式未標示)對設置于該擋液板結構a下方的基板(圖式未標示)的噴濺而造成蝕刻不均勻的現象,并且在濕式蝕刻的制程步驟中,該基板設置于二風刀b之間,當該基板設置于一輸送裝置(圖式未標示)而由該擋液板結構a的左方接受蝕刻藥液蝕刻后移動至風刀b之間,該等風刀b再噴出一氣體c到該基板的表面以將該基板表面殘留的蝕刻藥液吹除;然而,當在該等風刀b進行吹氣的狀態下,容易在該擋液板結構a下方形成微小的真空空間而形成渦流并造成真空吸板的問題;因此,如何有效借由創新的硬體設計,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險,仍是濕式蝕刻機等相關產業開發業者與相關研究人員需持續努力克服與解決的課題。廣州銅鈦蝕刻液蝕刻液廠家現貨哪家的蝕刻液配方比較好?

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一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法技術領域1.本技術涉及化學蝕刻技術領域,具體涉及一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。背景技術:2.目前,電子器件的基板表面(例如顯示器件的陣列基板)通常帶有一定圖案的氧化銦錫(ito)膜,以便后續給電子器件可控通電。該ito膜通常通過化學蝕刻的方法蝕刻ito材料層形成。其中,對于多晶ito(p-ito)材料,所用蝕刻液主要包括硫酸系、王水系ito蝕刻液。王水系蝕刻液成本低,但其蝕刻速度快,蝕刻的角度難以控制,且容易對ito膜的下層金屬造成二次腐蝕。技術實現要素:3.有鑒于此,為克服目前存在的技術難題,本技術提供了一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。4.具體地,本技術首先方面提供了一種ito蝕刻液,所述ito蝕刻液包括以下重量份數的各組分:20-22份的鹽酸,6-7份的硝酸,0.5-3份的酸抑制劑,0.5-3份的表面活性劑,以及水;其中,所述酸抑制劑包括n,n-二異丙基乙胺、n,n-二異丙基乙醇胺中的至少一種;所述表面活性劑包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一種。5.通過對蝕刻液中硝酸及鹽酸的含量進行精確限定,以實現了對王水系蝕刻液蝕刻速度的初步調控,并在一定程度上實現了對蝕刻角度的控制(蝕刻角度小于35

    12、伸縮桿;13、圓環塊;14、連接桿;15、回流管;16、增壓泵;17、一號排液管;18、一號電磁閥;19、抽氣泵;20、排氣管;21、集氣箱;22、二號排液管;23、二號電磁閥;24、傾斜板;25、活動板;26、蓄水箱;27、進水管;28、抽水管;29、三號電磁閥;30、控制面板。具體實施方式下面將結合本發明實施例中的附圖,對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發明一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒景l明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發明保護的范圍。請參閱圖1-5,本發明提供一種技術方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,包括裝置主體1,裝置主體1內部中間位置固定安裝有分隔板2,分隔板2左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板3,承載板3上端表面放置有電解池4,電解池4內部中間位置設置有隔膜5,裝置主體1上端表面靠近右側安裝有進液漏斗6,進液漏斗6上設置有過濾網7,裝置主體1內部靠近頂端設置有進液管8,進液管8左端連接有伸縮管9,伸縮管9下端安裝有噴頭10,裝置主體1上端表面靠近左側固定安裝有液壓缸11,液壓缸11下端安裝有伸縮桿12。蘇州口碑好的蝕刻液公司。

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    當該風刀裝置40的***風刀41與該第二風刀42為了減少該基板20上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結構10后部分會往該復數個宣泄孔121流動,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出,除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現象,亦可達到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;此外,為了避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,因此,該復數個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細現象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經由該復數個宣泄孔121滴下至該基板20上。由上述的實施說明可知,本實用新型的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備與現有技術相較之下,本實用新型具有以下優點。本實用新型的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備主要借由具有復數個宣泄孔的擋液板結構搭配風刀裝置的硬體設計,有效使風刀裝置吹出的氣體得以經由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異?,F象。蝕刻液運用在平板顯示中的配方是什么;廣州銅鈦蝕刻液蝕刻液廠家現貨

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    silane)系偶聯劑和水,上述硅烷系偶聯劑使上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以。此外,提供一種選擇硅烷系偶聯劑的方法,其是選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯劑的方法,其特征在于,選擇上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以。發明效果本發明的蝕刻液組合物提供即使不進行另外的實驗確認也能夠選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力優異的硅烷系偶聯劑的效果。此外,本發明的蝕刻液組合物提供在不損傷氧化物膜的同時*選擇性蝕刻氮化物膜的效果。附圖說明圖1是示出3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分的圖。圖2和圖3是示出制造3dnand閃存時氮化物膜去除工序(濕法去除氮化物(wetremovalofnitride))中所發生的工序不良的圖。圖4是示出能夠將3dnand閃存制造工序中發生的副反應氧化物的殘留以及氧化物膜損傷不良**少化的、硅烷系偶聯劑適宜防蝕能力范圍的圖。圖5是示出硅烷系偶聯劑的aeff值與蝕刻程度。江蘇格林達蝕刻液產品介紹

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