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來源: 發布時間:2024-04-04

    本發明涉及玻璃減薄技術領域,具體涉及一種玻璃減薄設備。背景技術:隨著便攜式電子器件的發展,手機、平板等便攜式電子器件越來越纖細化及薄型化,因此需要制造較薄的玻璃基板。為了制造較薄的玻璃基板,目前的采用的方法是浸泡式減薄法。用浸泡式減薄法減薄玻璃是將玻璃減薄液放入玻璃減薄設備的反應槽中,然后將玻璃放入玻璃減薄液中放置一定時間,使玻璃減薄液與玻璃反應,實現玻璃減薄。目前的浸泡式減薄法中,反應產物會懸浮于玻璃減薄液中,然后再粘附在玻璃上,造成不良品;并且,這種方法容易造成蝕刻不均,導致進行減薄后還需要進行拋光處理,提高了制備成本。鑒于上述缺陷,本發明創作者經過長時間的研究和實踐終于獲得了本發明。技術實現要素:為解決上述技術缺陷,本發明采用的技術方案在于,提供一種玻璃減薄設備,包括蝕刻區,用于對豎直容納在玻璃加工治具中的多個玻璃進行減薄處理;沖洗區,用于所述玻璃加工治具上的玻璃進行減薄前清潔和減薄后清潔;轉換區,用于待減薄處理的所述玻璃加工治具加載到所述沖洗區中,并將減薄處理后的所述玻璃加工治具從所述沖洗區卸載到外部;制動組件。減薄清洗劑,助您輕松打造高精度產品,滿足客戶需求。杭州哪家公司減薄用清洗劑推薦貨源

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    來對所述待加工表面進行減薄。可選地,還包括:在所述磁轉子運行一段時間后,更換所述磁轉子。可選地,將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤上。可選地,對所述待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后,還包括:對所述待加工部件進行清洗;采用特定溶液對所述光刻膠進行腐蝕,以將所述待加工部件與所述托盤分離。與現有技術相比,本發明所提供的技術方案具有以下優點:本發明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法,采用托盤固定待加工部件,采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對所述待加工表面進行拋光,采用磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨,來對所述待加工表面進行減薄,由于減薄過程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉,因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件如inp基晶圓的擠壓應力,降低待加工部件如inp基晶圓的機械加工損傷。附圖說明為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖是本發明的實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提下,還可以根據提供的附圖獲得其他的附圖。杭州哪家公司減薄用清洗劑推薦貨源減薄清洗劑,采用科技,為您帶來好的清潔效果。

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    圖1為本發明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結構示意圖;圖2為本發明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖;圖3為本發明實施例提供的一種磁轉子的結構示意圖;圖4為本發明實施例提供一種磁轉子的旋轉方式的示意圖;圖5為本發明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發明的思想,為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂,下面將結合本發明實施例中的附圖,對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發明保護的范圍。本發明實施例提供了一種拋光減薄裝置,用于對inp基晶圓等部件進行拋光減薄,如圖1所示,包括托盤10、噴頭11和磁轉子12,當然,本發明實施例中的拋光減薄裝置還包括反應室13等,托盤10、噴頭11和磁轉子12等在反應室13內進行拋光和減薄反應。其中,托盤10,可選為石英托盤,用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,以對待加工表面進行拋光。

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    經減薄處理后的玻璃可再次進入所述沖洗區2以經歷減薄后清潔并且通過所述轉換區1被卸載到外部;所述玻璃減薄設備還設置有制動組件,通過所述制動組件實現所述玻璃加工治具4從所述轉換區1經所述沖洗區2向所述蝕刻區3的減薄前移動,以及從所述蝕刻區3經所述沖洗區2向所述轉換區1的減薄后移動。在本實施例中,圖1內并排設置有2個所述玻璃減薄設備,所述沖洗區2包括沖洗區2、第二沖洗區2和第三沖洗區2,所述第二沖洗區2設置于所述沖洗區2和所述第三沖洗區2之間,所述沖洗區2設置于所述第二沖洗區2和所述轉換區1之間,所述第三沖洗區2設置于所述第二沖洗區2和所述蝕刻區3之間。所述轉換區1可升降的折疊式結構,從而便于所述玻璃加工治具4在所述轉換區1的放置或卸下。較佳的,所述轉換區1還設置有裝卸臂,通過所述裝卸臂可實現對所述玻璃加工治具4的上下料,以及單片玻璃的拿取檢測。實施例二如圖2所示,圖2為所述蝕刻區的結構示意圖;所述蝕刻區3包括腔室31、主厚度測量儀32、噴淋組件33和控制器;所述噴淋組件33在所述腔室31中對設置于所述玻璃加工治具4上的玻璃施加減薄處理,所述主厚度測量儀32實時測量在所述腔室31內經歷減薄處理的玻璃厚度。輕松去除過厚涂層,減薄用清洗劑是您理想的選擇。南通哪家減薄用清洗劑銷售電話

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    且所述限位塊438和所述第二限位塊439均可在所述限位孔437內移動,通過所述連接部433的限位效果,避免所述支撐條431和所述第二支撐條432在磁力作用下產生脫離,從而使所述支撐條431和所述第二支撐條432在磁力和所述連接部433的限位力作用下保持平衡。一般的,所述位塊438和所述第二限位塊439均設置為圓柱型,從而便于所述限位塊438和所述第二限位塊439在所述限位孔437內的移動。當放置于所述底支撐件43上的玻璃受到沖擊或振動時,所述支撐條431可相對于所述第二支撐條432作水平方向的偏移移動,或所述限位塊438和所述第二限位塊439均在所述限位孔437內移動,使所述支撐條431可相對于所述第二支撐條432作豎直方向的移動,從而可實現對各個方向上沖擊力或振動的吸收緩沖效果,提高玻璃的安全性。較佳的,所述限位塊438和所述第二限位塊439可設置為螺釘,所述限位孔437寬度配合所述螺釘的螺紋直徑設置,在所述支撐條431和所述第二支撐條432上設置螺紋孔,通過將所述限位塊438和所述第二限位塊439與所述螺紋孔螺紋連接,從而實現所述限位塊438和所述第二限位塊439在所述支撐條431和所述第二支撐條432上的固定。通過將所述限位塊438和所述第二限位塊439設置為螺釘。杭州哪家公司減薄用清洗劑推薦貨源

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