硫酸霧等酸性廢氣選酸霧凈化塔;低濃度有機廢氣用活性炭吸附裝置,中高濃度則考慮催化燃燒裝置;有顆粒物選布袋或靜電除塵器,混合廢氣需組合設備。
各設備處理率有別,處理量匹配電鍍規模,大生產線選大風量設備,小廠選小風量的。
涵蓋能耗、耗材及維護費,能耗低、耗材更換便宜、維護簡單的設備更優。場地有限選緊湊設備,處理易燃易爆廢氣的要防爆。操作管理上,選自動化程度高的。
電鍍設備中的掛鍍裝置,通過掛具懸掛工件,適用于汽車零件等中大件,可實現鍍層均勻附著。重慶機械電鍍設備
陽極氧化線的主要組成部分
1. 前處理系統
目的:表面油污、氧化皮和雜質,確保氧化膜與基體結合牢固。
工序:
除油-堿蝕 / 酸洗-多級水洗
2. 陽極氧化處理系統
氧化槽:
材質:耐酸堿的 PP、PVC 或玻璃鋼,內置陰極板(鉛板、不銹鋼)和導電裝置。
控制裝置:
電解液類型:
硫酸:常用,成本低,膜透明度高,適合裝飾性氧化(如鋁型材染色)。
草酸:膜硬度高、耐磨性強,用于硬質氧化(如航空零件)。
鉻酸:膜層柔軟、孔隙少,適合復雜工件或疲勞敏感零件(如汽車部件)。
3.后處理系統(功能拓展)
染色(可選):利用氧化膜的多孔性吸附有機染料或金屬鹽,實現顏色定制。
封孔(關鍵工序):
熱水封孔:使氧化膜水合生成 Al?O??nH?O,堵塞孔隙,提升耐腐蝕性。
蒸汽封孔:高溫蒸汽加速水合,適合厚膜(如硬質氧化)。
化學封孔:鎳鹽 / 鈷鹽溶液,形成氫氧化物沉淀封孔
干燥:熱風循環或烘箱去除水分,防止封孔后白斑。
4.自動化控制系統
輸送設備:懸掛式鏈條、龍門行車或機械手,實現工件在各槽間的自動傳輸。
參數監控:PLC 或工業電腦實時監測電壓、電流、電解液濃度、溫度、pH 值,自動補加藥劑或調整工藝參數。 便攜式電鍍設備周邊設備自動化電鍍設備集成 PLC 控制系統,聯動傳輸裝置實現工序時間、電壓參數準確控制,提升效率。
離心風機:風壓高、風量較大,適用于需要克服較大阻力
軸流風機:具有風量大、風壓低的特點。適合在對通風量需求大、阻力較小的環境
屋頂風機:安裝于電鍍車間屋頂,可直接將車間內廢氣排至室外。其優點是不占室內空間,安裝簡便
防爆風機:針對電鍍廢氣含易燃易爆氣體(如有機溶劑揮發氣)的情況設計,采用特殊防爆結構與材料,防止運行中產生電火花引發炸掉,保障生產安全
玻璃鋼風機:處理電鍍過程中產生的強腐蝕性酸堿廢氣,且質量較輕、強度較高、使用壽命長
不銹鋼風機:用于對耐腐蝕有一定要求且廢氣中顆粒物磨損性較強的電鍍廢氣抽取
防腐涂層或特殊防腐工藝處理的普通金屬風機:抽風設備搭配集氣罩、通風管道等部件,組成完整的抽風系統,將電鍍廢氣高效收集并輸送至后續處理設備,如酸霧凈化塔、活性炭吸附裝置等。
自動線線外連接抽風系統
PP抽風管連接,抽風連接口采用方形變通連接室外抽風系統
可根據不同種類廢氣和不同排放量以及現場情形適當設計制,并負責安裝調試,抽風效果好
適用于氧化、電鍍、涂裝、印刷等行業多種堿性、有毒氣體抽排(退掛、除銹等)
對比項 傳統滾鍍 半導體滾鍍 對象 小型金屬零件(螺絲、紐扣等) 晶圓、芯片、微型半導體元件 精度 微米級 納米級(≤100nm) 潔凈度 普通工業環境 無塵室(Class100~1000) 工藝控制 電流/時間粗調 實時閉環控制(電流、流量、溫度) 鍍液類型 酸性/堿性鍍液 高純度鍍液(低雜質)
大尺寸晶圓兼容:適配12英寸(300mm)晶圓,向18英寸過渡。環保鍍液:無物、低毒配方,減少廢水處理壓力。智能化集成:AI工藝優化:通過機器學習預測鍍層缺陷。與CMP(化學機械拋光)、PVD設備聯動,形成全自動金屬化產線
半導體滾鍍設備是封裝與芯片制造的關鍵裝備,通過精密旋轉與鍍液控制,實現納米級金屬鍍層的均勻沉積。其技術在于潔凈環境下的高精度工藝控制 工件籃設備用于籃鍍工藝,網孔大小根據工件尺寸定制,兼顧電解液流通性與防止小件掉落。
案例1:MLCC端電極電鍍
流程:陶瓷燒結→端面研磨→濺射鎳層→電鍍銅/錫層→激光切割分粒。
設備:濺射鍍膜機+滾鍍線,確保端電極導電性與焊接性。
案例2:薄膜電阻調阻后電鍍
流程:氧化鋁基板→濺射鎳鉻電阻膜→激光調阻→電鍍鎳/錫保護層。
作用:電鍍層防止調阻后的敏感膜層氧化,并提升端面焊接性能。
案例3:功率電感引腳鍍錫
流程:磁芯繞線→引腳焊接→電鍍純錫→熱風整平。
目標:降低接觸電阻,適應大電流場景。 滾鍍機滾筒采用聚氯乙烯材質打孔設計,確保電解液流通,配合變頻電機調節轉速,保障小件鍍層均勻。重慶電鍍設備供應商家
脈沖電化學拋光設備結合電鍍與拋光功能,通過瞬間高電流溶解凸起部分,實現鏡面級鍍層表面。重慶機械電鍍設備
掛鍍工藝:晶圓固定在掛具上,浸入電鍍液,通過精細控制電流、電壓及溶液成分,在表面沉積均勻金屬層。
電鍍槽:耐腐蝕材質,配備溫控、循環過濾系統,維持鍍液均勻性
掛具與陽極:鈦或鉑金陽極,掛具設計適配晶圓尺寸,確保電場分布均勻
自動化傳輸:機械臂自動上下料,減少人工污染風險
控制系統:PLC/計算機實時調控電流密度、電鍍時間、pH值等參數
高均勻性:通過脈沖電鍍或水平電鍍技術(如ECP),減少邊緣效應,實現亞微米級鍍層均勻性
低缺陷率:鍍液雜質控制(<0.1ppm)與膜厚在線監測,降低孔洞、結節等缺陷
高產能:支持多晶圓并行處理
銅互連:在邏輯芯片中沉積多層銅導線,替代傳統鋁工藝以降低電阻
TSV填充:為3D封裝提供垂直導電通道,實現芯片堆疊
凸塊電鍍:在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊,用于Flip-Chip鍵合
RDL(重布線層):沉積銅層實現芯片I/O端口的重新布局
半導體掛鍍設備通過精密電化學控制與自動化技術,解決了納米級金屬沉積的均勻性與可靠性難題,是先進芯片制造與封裝的裝備。其性能直接關聯芯片的導電性、散熱及良率 重慶機械電鍍設備