MEMS器件真空機售后

志成達研發的真空機，對深盲孔精密零件的電鍍前處理，真空處理技術成為關鍵工藝。要點：

一、深度與結構復雜性

1.深盲孔通常指深度＞5倍孔徑（如孔徑0.2mm，深度＞1mm），傳統常壓清洗難以滲透至底部。復雜結構（如階梯孔、交叉孔）易形成清洗盲區，殘留油污導致電鍍缺陷。

2.材料敏感性精密零件常用鋁合金、鈦合金或復合材料，需避免堿性腐蝕或高溫變形。微型軸承、傳感器等對尺寸精度要求極高，需防止處理過程中產生應力或污染。

二、真空處理技術的針對性解決方案

1.真空滲透強化

動態壓力差清洗抽真空時盲孔內空氣被排出，注入液體后恢復常壓，液體在壓力差作用下高速填充盲孔，沖刷油污。超聲協同效應真空環境中超聲波空化閾值降低（氣泡更易形成），空化氣泡破裂沖擊力增強30%以上，有效剝離盲孔壁附著物。

2.低溫高效脫脂

采用真空+超聲波組合，可在40~50℃下完成傳統60~80℃的脫脂效果，避免高溫對基材的影響。

3.微氣泡破裂清洗

真空沸騰產生的微氣泡直徑10~50μm，可進入孔徑＜0.1mm的盲孔，氣泡破裂時釋放局部高溫（約5000℃）和高壓（約100MPa），分解頑固油污。 真空負壓 3 秒！0.1mm 微孔油漬無處藏！MEMS器件真空機售后

志成達設計的真空機，真空除油設備中負壓技術

是通過降低處理環境的氣壓（形成真空狀態）來增強除油效果的技術。其原理是：負壓技術的原理

1.降低液體沸點在真空環境下，液體（如脫脂劑、有機溶劑）的沸點降低（例如水在-0.1MPa時沸點約為30℃）。利用這一特性，可在較低溫度下使液體沸騰，產生微小氣泡，通過氣泡破裂的沖擊力剝離盲孔內的油污。

2.增強滲透與排液負壓狀態下，液體更容易滲透到盲孔深處，同時孔內殘留的空氣被抽出，避免氣泡滯留。處理后恢復常壓時，液體因壓力差迅速排出盲孔，減少殘留。 安徽真空環境真空機真空除油設備采用無接觸式清潔技術，避免盲孔內壁刮擦損傷，特別適用于半導體晶圓等脆性精密部件。

真空除油設備中，負壓除油的流程：

1.抽真空階段

將工件放入真空罐，啟動真空泵使罐內壓力降至設定值（通常-0.08~-0.1MPa）。持續抽氣1~3分鐘，排出盲孔內空氣。

2.液體浸泡與沸騰

注入脫脂劑或溶劑，在負壓下液體迅速沸騰，產生微氣泡沖刷盲孔內壁。浸泡時間根據油污類型調整（通常3~5分鐘）。

3.循環漂洗

排出污液后，注入清水或中和液，再次抽真空使液體滲透并排出。可重復2~3次，確保殘留洗凈。4.干燥階段保持真空狀態，通過熱輻射或熱風（60~80℃）快速蒸發殘留液體。恢復常壓后取出工件。

志成達研發的真空機，真空除油設備采用雙真空室串聯設計

前級室完成油污剝離與溶劑回收，后級室進行高溫（120-150℃）真空干燥，整個流程實現全自動化，處理效率較傳統單室設備提升60%，適用于批量生產的汽車零部件工廠。在海洋工程裝備制造中，真空除油設備通過高壓（50-80bar）旋轉噴頭與真空吸嘴協同作業，可深海閥門、鉆井平臺部件表面附著的重質原油及生物膜，其鹽霧試驗表明處理后工件防腐壽命延長3-5年。真空除油設備配置在線油分濃度監測儀，通過紅外光譜分析實時檢測清洗液污染程度，當油分濃度超過5%時自動觸發溶劑再生程序，確保連續生產過程中清洗效果的穩定性，降低人工干預頻率。 省水省電省人工，1 機頂 5 個工人效率！

如何選擇適合的真空除油設備？

針對行業定制化方案的選擇：

1.航空航天領域選擇具備ISO13009認證的設備，配置HEPA過濾系統（控制顆粒污染）。推薦使用真空超聲波+等離子體復合清洗（去除納米級污染物）。

2.醫療器械行業罐體材質需為316L不銹鋼（符合FDA標準），采用雙機械密封防止泄漏。集成微生物檢測模塊（如ATP熒光檢測儀）。

3.電子元件行業配置真空度梯度控制系統（分步降壓防止元件炸裂）。選用無磷環保脫脂劑（滿足RoHS指令）。 設備配備精密壓力傳感器，實時監測盲孔內部壓力變化，確保清洗過程安全可控。模塊化真空機原理

創新真空破泡技術，消除清洗液中微氣泡對微孔清潔效果的影響。MEMS器件真空機售后

使用真空機的注意事項

1.先抽真空，如發現真空度有所下降時再適當加抽一下。這樣做對于延長設備的使用壽命是有利的。

1)工件放入真空箱里抽真空是為了抽去工件材質中可以抽去的氣體成分，把我們要處理的化學藥水壓入到盲孔內，實現除油或電鍍。如果需要加熱，可在設備外放入加熱的液體，再加工件，氣體遇熱就會膨脹。由于真空箱的密封性非常好，膨脹氣體所產生的巨大壓力有可能使觀察窗鋼化玻璃爆裂。這是一個潛在的危險。

2.有操作設定條件之特殊安全性防爆烤箱外，絕不可將爆裂物，加壓容器或可燃物置于烤箱內，否則可能會導致裂開而造成嚴重的工業災害。

3.燃物包括：易燃物、氧化物、發火物及易燃氣體。

4.排風管應保持通暢無阻，真空濾網請定期清潔。

5.必須接好地線，依照電工法規實施。

6.維修時嚴禁帶電操作，必須切斷總電源，方可檢修。

7.真空箱經多次使用后，會產生不能抽真空的現象，此時應更換門封條或調整箱體上的門扣伸出距離來解決。

8.真空箱應經常保持清潔。箱門玻璃切忌用有反應的化學溶液擦拭，應用松軟棉布擦拭。

9.若真空箱長期不用，請套上塑料薄膜防塵罩，放置于干燥的室內，以免電器元件受潮損壞，影響使用。 MEMS器件真空機售后