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晶圓甩干機主要由哪些部分構成？

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無錫凡華半導體科技有限公司2025-02-06

主要由旋轉系統、驅動電機、控制系統、腔室、噴淋系統、氮氣供應系統以及保護外殼等部分組成。

本回答由 無錫凡華半導體科技有限公司 提供

無錫凡華半導體科技有限公司
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簡介：無錫凡華半導體科技有限公司主營甩干機、涂膠顯影機、激光打標機，IPA干燥機，晶舟轉換器，花籃清洗機等
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無錫凡華半導體科技有限公司

聯系人： 邵圣

手   機： 13961806265

網   址： http://www.fanhuasemi.com/

地   址：
江蘇省無錫市宜興市宜興市萬石鎮工業集中區北區
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