氣體供應系統在氧化退火爐中有哪些關鍵作用？?

賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司2025-04-05

氣體供應系統是氧化退火爐的關鍵組成部分。在氧化階段，它精確輸送氧氣，氧氣的流量和純度直接決定氧化反應的進程和氧化膜質量。高純度的氧氣能保證生成高質量的氧化膜，流量的精細控制則確保氧化膜厚度符合工藝要求。在退火階段，若采用保護性氣體（如氮氣），氣體供應系統將氮氣輸送到爐內，防止材料在高溫下被氧化，維持材料原有特性。此外，一些特殊工藝可能需要混合氣體，氣體供應系統能夠按照精確比例混合不同氣體，為材料處理提供合適的氣氛環境，保障氧化和退火工藝的順利進行。?

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