半導體設備安裝如何選無塵車間場地？

上海笙電電力科技有限公司2025-02-20

半導體設備對環境要求嚴苛，選無塵車間場地時，要考量多方面因素。首先，車間的潔凈度等級需契合設備需求，像光刻設備，應置于至高等級的潔凈區，塵埃粒子數要嚴格控制在極小范圍內，如每立方米不超過10顆（ISO1級標準），防止塵埃污染芯片。其次，場地的溫濕度穩定性至關重要，一般溫度控制在22±0.5℃，濕度40%-60%，避免溫濕度波動影響設備精度與芯片性能。再者，車間要遠離震源，如工廠大型設備、交通要道，地面承載能力足夠，防止設備運行受振動干擾或因地面沉降造成損壞，保障半導體制造高精度環境。我們笙電電力科技可提供包括但不限于發電廠、變電站、工業廠房、商業樓宇等設備的安裝服務，我司銳意進取，持續創新為各行各業提供專業化服務！

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