三氯氧磷擴散對設(shè)備有哪些要求？?

賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司2025-03-09

需要高溫擴散爐，該爐要能夠穩(wěn)定地達到并維持 800 - 1200℃的高溫，且溫度控制精度高，一般要求溫度波動在 ±1℃以內(nèi)。氣體輸送系統(tǒng)要精確控制 POCl?蒸汽和攜帶氣體的流量，通常采用高精度的質(zhì)量流量控制器。為了防止 POCl?及其分解產(chǎn)物對設(shè)備的腐蝕，擴散爐內(nèi)部與氣體接觸的部件，如爐管、氣體管道等，需采用耐腐蝕材料，如石英、特種陶瓷等。同時，設(shè)備應(yīng)配備良好的尾氣處理裝置，因為 POCl?及其分解產(chǎn)生的氯氣等都是有毒有害氣體，必須經(jīng)過處理達標(biāo)后才能排放，以保護環(huán)境和操作人員安全。?

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