不同類型的真空計采用不同的物理機(jī)制進(jìn)行測量,主要包括以下幾類:
利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的真空計:如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī),它們利用氣體在流動過程中產(chǎn)生的熱效應(yīng)或電效應(yīng)來測量真空度。皮拉尼電阻規(guī)是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同,當(dāng)給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同通過氣體傳導(dǎo)走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。
利用帶電粒子效應(yīng)的真空計:如熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),它們通過測量氣體分子在電離過程中產(chǎn)生的電流來推算真空度。這類真空計在高真空領(lǐng)域具有極高的測量精度。 電容真空計的工作原理是怎樣的?河南mems電容真空計公司
真空計的歷史沿革1643年:意大利物理學(xué)家E.托里拆利進(jìn)行大氣壓力實驗,開創(chuàng)了定量測量真空程度的先河。19世紀(jì)中葉:英國發(fā)明家Bourdon發(fā)明了形變真空計,是工業(yè)上應(yīng)用*****的***型粗真空計之一。1858年:德國玻璃工,在真空度需粗略指示場合仍應(yīng)用十分普遍。1874年:,解決了低真空和高真空的***壓力的測量,是目前**基本的基準(zhǔn)***型真空計。1906年:M.皮喇尼發(fā)明電阻式真空計,解決了工業(yè)生產(chǎn)中的低真空測量問題。,是一種典型的***型粗真空真空計。1916年:,解決了高真空的測量問題,是目前實際應(yīng)用非常普遍的高真空真空計。1937年:,適用于有大量放氣和經(jīng)常暴露于大氣的真空設(shè)備的測量,在真空冶金和機(jī)械工業(yè)中得到***應(yīng)用。1940年:,是典型的測量氣體組分及分壓強(qiáng)的真空計。 重慶高質(zhì)量真空計生產(chǎn)企業(yè)皮拉尼真空計測量范圍?
真空計按測量原理分類
靜態(tài)液位真空計測量原理:利用U型管兩端液面差來測量壓力。彈性元件真空計測量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。但直接測量這樣小的力是困難的,因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來間接測量壓力的變化。壓縮式真空計測量原理:在U型管的基礎(chǔ)上應(yīng)用波義耳定律,即將一定量待測壓力的氣體,經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增加,以便用U型管真空計測量,然后用體積和壓力的關(guān)系計算被測壓力。熱傳導(dǎo)真空計測量原理:利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)的原理制成。示例:電阻真空計、熱偶真空計等。熱輻射真空計測量原理:利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)的原理。
皮拉尼真空計
較大的測量范圍:能夠測量從低真空到高真空的范圍。較好的重現(xiàn)性:在相同條件下,多次測量結(jié)果的一致性較好。制作成本較低:相對于其他類型的真空計,皮拉尼真空計的制作成本較低。價格合適:適合各種預(yù)算和應(yīng)用場景。較快的響應(yīng)時間:能夠響應(yīng)真空壓力的變化。缺點:不同的氣體類型會影響測量精度:由于不同氣體的熱導(dǎo)率不同,因此在使用皮拉尼真空計時需要針對特定氣體進(jìn)行校準(zhǔn)。對污染敏感:污染可能導(dǎo)致測量精度下降,因此在使用時需要保持測量環(huán)境的清潔。 皮拉尼真空計通常用于測量低壓氣體或真空系統(tǒng)中的壓力。
辰儀金屬電容真空計是完全對標(biāo)MKS的金屬電容真空計而開發(fā)的一款金屬膜片真空計,已實現(xiàn)全系列部件國產(chǎn)化,產(chǎn)品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內(nèi)FAB廠上機(jī)測試,填補(bǔ)了MKS對國內(nèi)斷供的影響。
辰儀金屬電容真空計是完全對標(biāo)MKS的金屬電容真空計而開發(fā)的一款金屬膜片真空計,已實現(xiàn)全系列部件國產(chǎn)化,產(chǎn)品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內(nèi)FAB廠上機(jī)測試,填補(bǔ)了MKS對國內(nèi)斷供的影響。 真空計校準(zhǔn)后為什么不準(zhǔn)了?山東真空計設(shè)備廠家
真空計主要的應(yīng)用行業(yè)有哪些?河南mems電容真空計公司
陶瓷薄膜真空計主要由陶瓷基片、金屬薄膜、電極、電路板和外殼等部分組成。其中,陶瓷基片是支撐薄膜和電極的基底,具有優(yōu)異的機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性;金屬薄膜作為電容的感測元件,對真空度變化具有高度的敏感性;電極則與薄膜形成電容結(jié)構(gòu);電路板則負(fù)責(zé)將電容變化轉(zhuǎn)換為可讀的電信號;外殼則用于保護(hù)內(nèi)部組件免受外界環(huán)境的干擾。
高精度:陶瓷薄膜真空計具有較高的測量精度,能夠滿足對真空度精確控制的要求。高穩(wěn)定性:由于采用了陶瓷材料和薄膜傳感技術(shù),陶瓷薄膜真空計具有長期的穩(wěn)定性,能夠在各種環(huán)境條件下保持測量精度。寬測量范圍:陶瓷薄膜真空計通常具有較寬的測量范圍,能夠覆蓋從低真空到高真空的不同壓力區(qū)域。響應(yīng)速度快:陶瓷薄膜真空計對真空度變化的響應(yīng)速度較快,能夠?qū)崟r反映真空度的變化。耐腐蝕性強(qiáng):陶瓷材料具有優(yōu)異的耐腐蝕性能,使得陶瓷薄膜真空計能夠在腐蝕性氣體環(huán)境中保持測量精度。 河南mems電容真空計公司
上海辰儀測量技術(shù)有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽(yù)可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標(biāo),有組織有體系的公司,堅持于帶領(lǐng)員工在未來的道路上大放光明,攜手共畫藍(lán)圖,在上海市等地區(qū)的儀器儀表行業(yè)中積累了大批忠誠的客戶粉絲源,也收獲了良好的用戶口碑,為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ),也希望未來公司能成為*****,努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量,我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息,斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**上海辰儀測量技術(shù)供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌,共創(chuàng)佳績,一直以來,公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠實守信的方針,員工精誠努力,協(xié)同奮取,以品質(zhì)、服務(wù)來贏得市場,我們一直在路上!