真空測量就是真空度的測量,而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來的,并不十分合理。壓力高意味著真空度低;反之,壓力低意味著真空度高。用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。本書所述壓力的測量是指比大氣壓力小得多的氣體壓力測量。壓力是一個力學量,為單位面積所承受的力。大氣壓力為101325Pa,直接測量這樣大的壓力是容易的,但在真空技術中,測量這樣大的壓力是比較少的。真空技術中遇到的氣體壓力都很低,如有時要測10-10Pa的壓力,這樣極小的壓力用直接測量單位面積所承受的力是不可能的。因此,測量真空度的辦法通常是在氣體中造成一定的物理現象,然后測量這個過程中與氣體壓力有關的某些物理量,再設法間接確定出真實壓力來。例如先將被測氣體壓縮,使其壓力增高,測出增高后的壓力,再根據壓縮比計算出原來的壓力值,這就是所謂的壓縮式真空計。也可以用一根熱絲,測量氣體熱傳導造成的某些結果,如熱絲溫度、電阻變化等,這就構成熱傳導真空計。還可以利用電子碰撞氣體分子使之電離,用測得的離子流反應壓力,這就是電離真空計。皮拉尼真空計在測量過程中需要注意哪些安全問題?無錫mems皮拉尼真空計生產企業
利用帶電粒子效用類真空計通過測量氣體分子在電場或磁場中被荷能粒子碰撞電離后產生的離子流或電子流來推算真空度。典型**有熱陰極電離規和冷陰極電離規。a)熱陰極電離規通過加熱陰極使其發射電子,進而與氣體分子發生碰撞并電離。電離產生的離子流隨壓力變化,通過測量離子流的變化可以推算出真空中氣體分子的密度,進而得到壓力大小。熱陰極電離規能夠提供高精度的真空度測量,常用于科研和高精度工業領域。
b)冷陰極電離規同熱陰極一樣,也是利用電離氣體分子收集離子電流的原理,不同的是,冷陰極利用磁控放電電離氣體分子產生離子。在測量過程中無需加熱陰極,因此具有較低的能耗和更高的可靠性。它特別適用于需要長時間連續工作的場合,如大型科研設備和工業生產線。其測量精度和穩定性也相當出色。 河南高質量真空計多少錢電容真空計有哪些優點?
陶瓷真空計是一種用于測量真空系統中壓力的儀器,廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優點。
選型與使用量程選擇:根據測量需求選擇合適的量程。環境適應性:考慮溫度、腐蝕性氣體等因素。安裝與維護:正確安裝并定期校準和維護。常見問題零點漂移:定期校準以減少誤差。污染影響:保持傳感器清潔,避免污染。溫度影響:注意環境溫度變化對測量的影響。總結陶瓷真空計憑借其耐高溫、耐腐蝕和高精度等特性,在多個領域有廣泛應用。正確選型和使用能確保其長期穩定運行。
4. 電容式真空計電容式真空計通過測量電容變化來間接測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優點:精度高、響應快。缺點:成本較高。應用:中真空和高真空測量。5. 振膜式真空計振膜式真空計通過測量振膜頻率變化來測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)石英晶體真空計原理:利用石英晶體振膜在壓力作用下的頻率變化測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優點:精度高、穩定性好。缺點:成本較高。應用:高精度真空測量。為什么真空計讀數不變?
真空測量就是真空度的測量,而真空度(詳細注釋見前文:知識分享②|真空如何獲得?)是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常,將用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。注釋:大氣壓力:通常指一個標準大氣壓,壓強的單位之一。當溫度為0℃(273.15K)時,在重力加速度為980.655cm/s2處(即在地球緯度為45°的海平面上),使用**的密度為13.5951g/cm3,則760mm高的**柱所產生的壓強為1標準大氣壓。1毫米汞柱(mmHg)和1托(Torr)相近,兩者相差約千萬分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一個標準大氣壓1atm=101325Pa=760mmHg=1.01325bar=760Torr真空計如何快速選型?河南金屬真空計
電容真空計與熱傳導式真空計相比有何不同?無錫mems皮拉尼真空計生產企業
皮拉尼真空計利用氣體分子的熱導率隨壓力變化而變化的特性來測量真空度。它包含一個封閉在室內的加熱絲(通常為鉑絲),該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個臂(電阻)。在測量過程中,加熱絲由恒定電流加熱,溫度升高。當加熱絲置于真空或低壓氣體環境中時,由于氣體分子數量減少,加熱絲的熱導率降低,導致加熱絲溫度進一步升高。這一溫度變化會引起導線電阻的變化,通過惠斯通電橋測量電阻變化,即可間接獲得真空度的讀數。
皮拉尼真空計主要由感應頭和控制頭兩部分組成。感應頭多為金屬或玻璃外殼,內有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應頭提供必要的電路,并負責信號放大和信號數字化的工作。 無錫mems皮拉尼真空計生產企業