以p型離子注入形成有源區;所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層,所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層;所述的正面金屬電極是在濺射后經刻蝕成形。所述外延層的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層厚度wepi根據耗盡區寬度wd確定:wepi≈wd,而wd≥w入/2,其中w入=f(λ),w入為入射光入射深度,λ為入射光波長。一種高速高響應度的硅基光電二極管的制備方法,包括以下操作:1)在襯底上濺射生成高反層;2)高反層開設刻蝕孔;3)高反層上通過淀積的方法生長外延層;4)在外延層上通過離子注入分別形成保護環和有源區;5)在保護環和有源區上生成sio2層,然后在sio2層上方生成si3n4層;6)在sio2層、si3n4層上刻出接觸孔,然后濺射金屬,濺射完成后刻蝕形成正面金屬電極;7)在襯底的背面做金屬化處理形成背面電極。所述的襯底采用電阻率20~100為ohm·cm的低電阻率硅材料;襯底直接與背面金屬形成良好的歐姆接觸;所述的高反層是由折射率~~,通過化學氣相淀積或光學鍍膜技術生成;所述的外延層的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層的厚度與耗盡區寬度相當;所述的保護環為as離子源注入,注入劑量為1e15~2e15。深圳市世華高半導體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設在深圳。硅光電二極管供應商就找世華高!重慶進口硅光電二極管
硅光二極管在光探測領域的應用非常廣。它可以用于檢測微弱的光信號,如生物發光、化學發光等,為科學研究和技術應用提供了重要的手段。同時,硅光二極管還可以用于構建光傳感器,實現對環境參數的實時監測和數據分析。深圳市世華高半導體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設在深圳,主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地,負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構,分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。隨著生產規模的不斷擴大和產品種類的豐富,公司的銷售業績穩步提升。溫州硅光硅光電二極管接法世華高硅光電二極管性能穩定,技術成熟。
通過適當減小耗盡區寬度和減小擴散區電阻率,耗盡區寬度減小導致響應度的降低,再通過增加高反層使得光子在較薄的耗盡區中二次吸收來補償,以減小耗盡區變薄對光響應度的影響(參見圖3);高反層的形成使得器件保持對長波響應度的同時,降低響應時間;進一步,通過在高反層上刻孔形成均勻的電流路徑同時獲得高的響應速度(參見圖4);由于擴散區(耗盡區以外的區域)材料電阻率很低,擴散區阻抗很小。深圳市世華高半導體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設在深圳,主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地,負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展,世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構,分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。深圳市世華高半導體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設在深圳,主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地,負責光電器件的制造。
本發明具有以下有益的技術效果:本發明提供的高速高響應度的硅基光電二極管,通過適當減小耗盡區寬度和減小擴散區電阻率,耗盡區寬度減小導致響應度的降低,本發明通過增加高反層使得光子在耗盡區中二次吸收來補償;高反層的形成使得器件保持對長波響應度的同時,降低響應時間;由于擴散區(耗盡區以外的區域)材料電阻率很低,擴散區阻抗很小,因此擴散時間很短;從而實現硅基光電二極管高響應度與高響應速度同時提升。本發明提供的高速高響應度的硅基光電二極管,由于通過低阻材料降低了擴散區電阻,縮短了擴散時間;而高反層的設置提高了長波的吸收效率,降低了耗盡區的物理厚度,縮短了漂移時間,并且在其上開孔減小了擴散區的阻抗;襯底采用低電阻率材料,背面不用進行減薄注入,直接背面金屬化形成背面電極,避免了加工過程中碎片的情況。附圖說明圖1為本發明的結構圖示意圖;圖2為本發明的等效電路示意圖;圖3為本發明的高反層原理示意圖;圖4為多孔結構高反層的示意圖;圖5-1~圖5-7分別為本發明的逐層制備示意圖。圖6為本發明的硅基光電二極管的響應度測試曲線;圖7為本發明的硅基光電二極管的頻率特性測試曲線。硅光電二極管參數哪家棒!世華高。
本發明屬于光電催化技術領域,具體涉及一種sr摻雜batio3/znte光陰極材料的制備方法,可以實現znte光生載流子的定向分離,并加速界面co2還原反應的活性。背景技術:能源危機和溫室效應是人類目前急需解決的關鍵科學難題,以太陽能驅動的co2還原為解決這些問題提供了一個理想的途徑,該反應綠色、**,條件溫和,吸引了多國和科研人員的目光。光電催化反應技術整合光催化和電催化技術的優勢,從而實現對co2還原更高的效率和更理想的選擇性。目前,光電催化co2還原的效率依然很低,太陽能到化學能的轉化效率遠低于工業應用所需的10%效率,根本原因在于載流子復合嚴重,界面反應動力學緩慢。為了推進光電催化co2還原技術的實際應用,關鍵是開發**載流子分離的光陰極材料。znte是一種可見光響應的p型半導體(),其導帶邊電勢()遠負于其它半導體,能克服co2還原的熱力學勢壘,是目前光(電)催化co2還原的理想材料。但是,單一znte光電極材料依然無法**分離光生載流子,大部分載流子在界面反應發生之前復合損失。構建半導體納米異質結是分離光生載流子的通用途徑,但該方法往往需要兩個半導體之間的能帶匹配,且兩相界面需有利于載流子傳輸。這樣,很大地限制了半導體材料的選擇。因此。硅光電池就找深圳世華高。深圳光電硅光電二極管特性
世華高硅光電二極管物體檢測效果很好,使用壽命也很長。重慶進口硅光電二極管
該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地,負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展,世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構,分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。所述方法由以下步驟組成:1)以乙酸鋇、乙酸鍶和鈦酸四丁酯為原料,溶解于乙酸、乙醇和水的混合溶液中,加入質量分數為10-30%的聚乙烯吡絡烷酮,攪拌24h,得到紡絲溶液;2)采用靜電紡絲機制備sr摻雜batio3納米纖維薄膜電極:將步驟1所述紡絲溶液加入到10ml注射器中,設置一定的靜電紡絲工藝參數,在固定于滾筒上的fto玻璃上接收固化的復合纖維,150℃烘箱中干燥過夜,烘干后置于馬弗爐中煅燒一定時間,熱分解后即可獲得sr摻雜batio3薄膜電極;3)采用水熱法制備sr摻雜batio3/znte光電極:配制一定濃度的硝酸鋅、碲酸鈉和硼氫化鈉的混合水溶解,攪拌均勻,后轉入50ml水熱反應釜中;將步驟2所述sr摻雜batio3薄膜電極放入反應釜內,fto導電面朝下,密封后置于恒溫干燥箱中水熱反應一定時間。重慶進口硅光電二極管