刻蝕的目的在于去除硅片上不需要的材料,從而雕琢出精細的電路結構。在這一精細操作過程中,溫度的波動都會如同“蝴蝶效應”般,干擾刻蝕速率的均勻性。當溫度不穩定時,硅片不同部位在相同時間內所經歷的刻蝕程度將參差不齊,有的地方刻蝕過度,有的地方刻蝕不足,直接破壞芯片的電路完整性,嚴重影響芯片性能。濕度方面,一旦出現不穩定狀況,刻蝕環境中的水汽會與刻蝕氣體發生復雜的化學反應,生成一些難以預料的雜質。這些雜質可能會附著在芯片表面,或是嵌入剛剛刻蝕形成的微觀電路結構中,給芯片質量埋下深深的隱患,后續即便經過多道清洗工序,也難以徹底根除這些隱患帶來的負面影響。精密環境控制設備內部壓力波動極小,穩定在 +/-3Pa。0.5℃環境預算
在 3D 打印行業蓬勃發展的當下,溫濕度成為左右打印質量的關鍵因素。在打印過程中,一旦環境溫度出現較大幅度的波動,用于成型的光敏樹脂或熱熔性材料便會受到直接沖擊。材料的固化速率、流動性不再穩定,這會直接反映在打印模型上,導致模型出現層紋,嚴重時發生變形,甚至產生開裂等嚴重缺陷。而當濕度偏高,材料極易吸濕。在打印過程中,這些吸收的水分轉化為氣泡,悄然隱匿于模型內部或浮現于表面,極大地破壞模型的結構完整性,使其表面質量大打折扣,影響 3D 打印產品在工業設計、醫療模型等諸多領域的實際應用。0.5℃環境預算為航天零部件檢測打造的專屬環境,滿足其對溫濕度、潔凈度近乎苛刻的要求。
在現代精密制造領域,三坐標測量儀是無可替代的關鍵設備,廣泛應用于模具、汽車零部件等復雜形狀工件的精密測量工作中。它憑借高精度的測量能力,為工業生產的質量把控提供了支撐。然而,環境因素對其測量精度影響巨大。當溫度不穩定時,測量儀的花崗巖工作臺、坐標軸導軌等關鍵部件會因熱脹冷縮產生熱變形。這種變形看似微小,卻足以導致測量空間的坐標原點發生漂移,使得測量點的三維坐標值出現不可忽視的誤差。而在濕度波動時,潮濕空氣宛如無孔不入的 “幽靈”,悄然侵蝕儀器的電子線路板。這極易造成短路、信號干擾等嚴重問題,進而致使測量數據出現跳變、丟失等異常情況。此類狀況不僅嚴重影響測量的準確性與連續性,還會對整個生產流程造成連鎖反應,阻礙相關產業的高質量發展。
我司自主研發的高精密控溫技術,控制輸出精度達 0.1%,能精細掌控溫度變化。溫度波動控制可選 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多檔,滿足嚴苛溫度需求。該系統潔凈度表現優異,可達百級、十級、一級。關鍵區域靜態溫度穩定性 ±5mK,內部溫度均勻性小于 16mK/m,為芯片研發等敏感項目營造理想溫場,保障實驗數據不受溫度干擾。濕度方面,8 小時內穩定性可達 ±0.5%;壓力穩定性為 +/-3Pa,設備還能連續穩定工作 144 小時,助力長時間實驗與制造。在潔凈度上,工作區潔凈度優于 ISO class3,既確保實驗結果準確可靠,又保障精密儀器正常工作與使用壽命,推動科研與生產進步。半導體芯片制造環節,憑借其超高潔凈度及極為微小的溫濕度波動,有效減少芯片瑕疵,提升產品良品率。
我司憑借深厚的技術積累,自主研發出高精密控溫技術,精度高達 0.1% 的控制輸出。溫度波動值可實現±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環境控制。該系統潔凈度可實現百級、十級、一級。關鍵區域 ±5mK(靜態)的溫度穩定性,以及均勻性小于 16mK/m 的內部溫度規格,為諸如芯片研發這類對溫度極度敏感的項目,打造了近乎完美的溫場環境,保障實驗數據不受溫度干擾。同時,設備內部濕度穩定性可達±0.5%@8h,壓力穩定性可達+/-3Pa,長達 144h 的連續穩定工作更是讓長時間實驗和制造無后顧之憂。在潔凈度方面,實現百級以上潔凈度控制,工作區潔凈度優于 ISO class3,確保實驗結果的準確性與可靠性,也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命。精密環境控制設備依托自主研發的高精密控溫技術,實現了 0.1% 的超高輸出精度。色譜儀環境廠家
設備運行穩定性高,可連續穩定工作時間大于 144h。0.5℃環境預算
電池芯片制造工藝的復雜性與精細度與日俱增,對生產環境的潔凈度和濕度控制提出了極其嚴苛的要求。濕度一旦超出允許范圍,哪怕有細微波動,都極有可能致使電池芯片內部的電路結構發生短路現象,或者嚴重影響芯片的整體性能,大幅降低其充放電效率與使用壽命。精密環控柜憑借其技術實力,實現了對濕度的調控,將濕度穩定性牢牢控制在極小的區間內。同時,其配備的空氣過濾系統,能夠高效攔截空氣中的各類塵埃、顆粒及微生物,確保生產環境達到超高潔凈度標準。針對新能源電子領域千變萬化的特殊生產工藝需求,精密環控柜還能提供定制化服務,從內部布局到各項環境參數的設定,都能滿足該領域獨特的環境要求。0.5℃環境預算