光學電子潔凈工程無塵室施工步驟光學電子潔凈工程無塵室施工分為四個施工階段，其中風管、水電安裝工程分為四個施工階段。線路放樣施工階段∶嚴格按照施工圖紙，確保準確無誤；主體結構施工階段；空調機組的施工階段；竣工驗收.移交階段。按照從低到高的原則組織施工，即放樣→豎隔斷→風管的生產和安裝→吊頂→裝鋁合金窗→門制作→回風窗等。為保證工期，各施工工序避免交叉施工，影響后續進度。根據光學電子潔凈工程無塵室項目設定的質量和工期目標，結合項目特點進行分散處理，確定各階段的目標。明確各階段的主要過程和關鍵環節，制定相應的技術管理和施工保障措施，實施專人跟進管理，重要監控項目。箱體用熱扎薄鋼板與骨架氣焊易變形，可...

潔凈廠房空調凈化系統設計下列情況的空氣凈化系統宜分開設置：單向流潔凈室與非單向流潔凈室；高效空氣凈化系統與中效空氣凈化系統；運行班次和使用時間不同的潔凈室。下列情況的空氣凈化系統，如經處理仍不能避免交叉污染時，則不應利用回風：固體物料的粉碎、稱量、配料、混合、制粒、壓片、包衣、灌裝等工序；固體口服制劑的顆粒、成品干燥設備所使用的凈化空氣；用有機溶媒精制的原料藥精制、干燥工序；凡工藝過程中產生大量有害物質，揮發性氣體的生產工序。潔凈度等級標準無塵車間的空氣潔凈等級分為十級、百級、千級、萬級、十萬級以及三十萬級 .宿遷醫用凈化工程制藥gmp凈化工程設計必須考慮選擇正確的潔凈度：表面光滑：要求建筑材...

潔凈廠房空調凈化系統設計空氣潔凈度100000級及高于100000級的空氣凈化處理，應采用初效、中效、高效過濾器三級過濾。對于100000級空氣凈化處理，也可采用亞高效空氣過濾器代替高效過濾器。大于100000級的空氣凈化處理，應采用初效、中效過濾器二級過濾。空氣過濾器的選用、布置方式符合下列要求：初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器；中效空氣過濾器且集中設置在凈化空氣調節系統的正壓段；高效或亞高效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節系統的末端。保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。山東電子廠凈化工程安裝如今，隨著國家對藥品質量的要求越來越高，制藥企業需要做好每一個細節，以達到GMP標...

無塵車間危險源：1、在藥業、化工廠、電子器件等領域，一些危險工藝流程或危險機器設備直接影響到建筑物和技術人員的安全性。特別是一些應用原材料或生產過程中造成的中間產品含有易燃易爆物品危險性的，無法從建筑結構或建筑布局中予以預防，使得車間的火災事故危險性比較大增加。2、在車間?作，要是沒有恰當的保證設計和維護保養?作，可能會由于?塵難題，空?中的氧?由于被防護?降低，造成?體氧氣不足。全?都衣著太空服，緊裹住?體，?膚的吸氣也受到影響，像呼出的?二氧化碳?被吸??膚，造成?孔增?，頭?也因而強大脫發；?套難題，由于?套理的添加劑也會讓??膚?化，便是皺巴巴的，比較敏感的?甚?會脫?。風淋室是東莞無...

無塵車間的特性：1、無塵車間是空氣的潔凈度達到一定級別的可供人活動和生產的空間，其功能是能控制微粒的污染。這表明無塵車間的潔凈不是一般的干凈，而是達到了一定的空氣潔凈度級別，在我國制藥行業，低等級別的是30萬級，凈化車間必須具有控制微粒污染、抵抗外界干擾的能力。2、無塵車間是一個多功能的綜合整休，多功能體現在以下兩個方面：(1)多專業--建筑、空調、凈化、純水、純氣。(2)多參數--空氣潔凈度、細菌濃度以及空氣的量(風量)、壓(壓力)、聲(噪聲)、光(照度)。3、對于無塵車間的質量來說，在重要性方面，設計、施工和運行管理各占1/3，也就是說無塵車間本身也是通過從設計到管理的全過程來體現其質量的...

潔凈室施工有哪些安全規范？潔凈室施工必須嚴格按照設計圖紙進行分析和施工。如果在施工過程中需要對設計方法進行修改，必須事先通知設計單位變更設計工作，無圖紙和技術開發要求的項目不能施工驗收。潔凈室施工前，應制定詳細的施工計劃和程序。各工種的施工必須密切配合，按程序進行。提前開展的工種不得干擾企業后續施工。用于凈化工程建設的主要研究材料、設備、成品、半成品應當符合教學設計要求，并持有生命質量證書或者生命質量證書。生活質量問題應進行抽查檢查，如發現過期物料不得通過使用。凈化工程中，每道工序完成后，應進行中間驗收并做好記錄。無塵車間系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99...

無塵車間在集成電路芯片制造的光學技術鏈路中，單晶硅晶片暴露于自然的生產中。當環境污染的可能性很高時，零件的廢物速率將相對較高。類損壞，目前在超大綜合電路芯片的工業工廠中選擇微環境，以清理，保護生產過程中心城市，并在微環境危害中達到氣體清潔度和環境控制要求。在國家標準ISO14644-4中，B（參考）引入了“微電子技術純化室示例”。無塵車間桌子上辦公區域的公共生產和加工的區域是一個人和/或自我溶解設備生產芯片的區域。為了確保工作的區域區域沒有環境污染，通常會選擇一個道路流或微環境來保護人和暴露的商品。公共設施區域是插座的一部分，沒有設置芯片生產線的操作員。該區域的運作通常不暴露于自然的生產。辦公...

①在實施比較好的設計條件之前，應詳細說明ISO擁有的水平。②表面層中的旋風類型表示純化室的氣體特性：u=一個-路流；n，非一條路流；M=混合流形式（U和N的混合物）。③平均旋風速率通常適用于房間中的單向流。單側旋風速度需要在測量區域的形狀下加熱的溫度。單側流速不指濁度的正風。④非邊緣流量和混合流量在一小時內使用自然通風的頻率。使用適用于建筑物高度3.M的無塵房間的系數排放空氣量建議值。⑤注意嚴格的密封對策。⑥硒或旋風天然屏障適用于合理的污染物分離和自然保護區。實際上，在此階段，全球所有國家的綜合電路制造企業。生產者根據產品類型進行處理。選擇了生產過程的技術。生產線設備。原材料采購和制造無塵車間...

無菌室要求指的是無菌室的建造和使用方面有哪些硬性要求？帶著對無菌室要求這個問題小編查閱了大量有關無菌室要求方面的文獻和參考資料，現向大家做以歸納闡述。建造凈化無菌室要求有哪些要求？無菌室要求表現在使用與管理方面主要有如下七點：一是無菌室要求應保持清潔整齊，室內存放必須的檢驗用具如酒精燈、酒精棉、火柴、鑷子、接種針、接種環、玻璃鉛筆等。不要放與檢測無關的物品。二是無菌室要求室內檢驗用具及凳桌等保持固定位置，不隨便移動。三是無菌室要求每2―3周用2%石炭酸水溶液擦拭工作臺、門、窗、桌、椅及地面，然后用3%石炭酸水溶液噴霧消毒空氣，紫外燈殺菌半小時。電子制造業萬級無塵車間的潔凈度等級要求高，風量、溫...

風管系統：包括送風、回風、新風、排風管道、末端及控制裝置等;空調系統：包括冷(熱)水機組(包括水泵、冷卻塔等)(或風冷管道機級等)，管路、組合式凈化空調箱(包括混流段、初效段、加熱段、制冷段、除濕段、加壓段、中效段、靜壓段等);自控系統：包括溫度控制、溫度控制、風量風壓控制、開啟順序和時間控制等;電氣系統：照明、動力、弱電三部分，包括凈化燈具、插座、電氣柜、線路、監控、電話等強弱電系統;給排水系統：給水、排水管道、設施及控制裝置等;空氣過濾系統：初中效過濾器等其他凈化設備：如臭氧、紫外線燈、風淋(包括貨淋)、傳遞窗、超凈工作臺,互聯鎖等凈化輔助設備。新風量：潔凈室內應保證一定的新鮮空氣量，其數...

十萬級無塵車間的監測：1、無塵車間系統的監測主要是過濾器的更換周期，還有無塵車間對環境的濕度、溫度、新鮮空氣量、狀態、照度等都有嚴格的規定，保證了產品的生產質量和人員工作環境的舒適。2、整個無塵車間系統配有一套采用初效、中效、高效過濾器的三級空氣凈化系統，控制潔凈區內塵粒數等。作為末端過濾裝置高效過濾器決定著整個凈化系統的運行效果，無塵車間裝修因此對于高效過濾器的更換時間是非常重要的。3、在無塵車間的裝修里，無論是安裝在凈化空調機組末端的大風量高效空氣過濾器還是安裝在高效送風口的高效空氣過濾器，這些必需要有準確性的運行時間記錄和潔凈度及風量作為更換依據，如在常態的使用情況下，高效過濾器的使用壽...

潔凈工程的裝修標準伴隨著在我國社會經濟的開展趨勢、社會開展的開展和老百姓生活水平的提升,潔凈工程已大范圍運用于電子器件、生物醫藥、儀器儀表出產制作等各個領域中，因為凈化室在溫度、空氣濕度及潔凈度等級層面的極大優點，它的必要性也愈來愈多的被我們所了解和接納。凈化車間墻、現澆板才一般多采用50毫米厚的彩鋼夾心板出產制作出產制作，其特點為外觀設計獨具匠心、彎曲剛度強。弧型墻角、門、窗戶等一般采用氧化鋁型材出產制作出產制作。地面可采用環氧樹脂膠環氧地坪漆或抗磨損橡膠地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。送回風口用鍍鋁鋅板制成，貼整理保溫隔熱功能強大的pvc電線PF發泡聚氨酯塑料板材。高效過濾器用不銹鋼...

醫療凈化工程關鍵凈化處理在下述一些層面：1.診室的無塵室凈化處理室內空間，患者在診室京歷經手術的歷程中，是人體更為孱弱的情況下，非常容易感柒周邊的病毒，給患者導致二次傷害，而醫療凈化工程的運用解決了這一問題。2.醫療凈化工程在待產室空調凈化系統軟件的運用層面也是十分關鍵的，融合本地全年度的氣候特點，充分考慮手術部及待產室存有根據外排架結構的熱傳導，夏天必須制冷、冬天必須供暖，因而依據不一樣作用用地的熱冷負載的特性，必須對醫院門診手術部及待產室的空調凈化系統軟件開展區劃。3.此外醫療凈化工程還功效在無菌車間，凈化處理間，ICU醫院病房，在無菌車間中只需存儲了一些醫療疫苗，這種疫苗非常容易受到，因...

進入無塵車間的有哪些清潔要求?（1）清潔潔凈室內的墻時應使用潔凈室無塵布；（2）用90%去離子水和10%的異丙醇配置清潔劑；（3）使用已獲批準的潔凈室去污劑；（4）每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走。（5）每塊地板都要吸塵。每次交接班時，都應在地圖上標明工作完成情況，例如在哪結束從哪開始。（6）清潔潔凈室的地面應使用拖把。（7）在潔凈室里吸塵應使用帶有高效過濾器的真空吸塵器。（8）所有的門都需要檢查并擦干。（9）吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。（10）架空地板下也要吸塵及擦拭。（11）三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。（12）工作時一定要記住，永遠是由上往下擦，從離門遠的地方...

進入無塵車間的有哪些清潔要求?（1）清潔潔凈室內的墻時應使用潔凈室無塵布；（2）用90%去離子水和10%的異丙醇配置清潔劑；（3）使用已獲批準的潔凈室去污劑；（4）每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走。（5）每塊地板都要吸塵。每次交接班時，都應在地圖上標明工作完成情況，例如在哪結束從哪開始。（6）清潔潔凈室的地面應使用拖把。（7）在潔凈室里吸塵應使用帶有高效過濾器的真空吸塵器。（8）所有的門都需要檢查并擦干。（9）吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。（10）架空地板下也要吸塵及擦拭。（11）三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。（12）工作時一定要記住，永遠是由上往下擦，從離門遠的地方...

凈化車間的制藥行業經常使用各種易燃易爆化學危險物品和化學反應本身也有燃燒和的風險,如使用酒精溶液、酒精、氣體活性鎳、鈀碳和其他物品,很容易引起燃燒。火焰法和環氧乙烷法在灰細菌制備過程中都有較大的火災隱患。使用易燃材料作為建筑或裝飾材料。手術室是為患者提供手術和搶救的場所，是醫院重要的技術科室。手術室應與手術科室相連，但也要靠近血庫、重癥監護室、麻醉和復蘇等。由于潔凈車間的特殊需求和許多新型復合材料的使用，以及施工單位缺乏消防知識，有的使用有機復合材料進行分析。凈化車間如何防火安全?或者在彩鋼板上加入泡沫，增加火災負荷。這些材料燃燒后，會產生大量有毒氣體。溫度是基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對...

凈化方案：1、全室凈化以集中凈化空調系統，在整個房間內造成具有相同潔凈度環境的凈化處理方式，叫全室凈化。這是潔凈技術中極早發展起來的一種方式，并且現在也仍然被采用。這種方式適合于工藝設備高大，數量很多，且室內要求相同潔凈度的場所。但是這種方式投資大、運行管理復雜、建設周期長。2、局部凈化以凈化空調器或局部凈化設備，在一般空調環境中造成局部區域具有一定潔凈度級別環境的凈化處理方式叫局部凈化。這種方式適合于生產批量較小或利用原有廠房進行技術改造的場所。目前，應用極大范圍的是全室凈化與局部凈化相結合的凈化處理方式，這是潔凈技術發展中產生的凈化方式，它既能保證室內具有一定潔凈度，又能在局部區域實現高潔...

隨著大眾對健康問題關注度及認知度的提升，特別是近年被大眾所詬病的食品安全衛生問題，安全狀況令人堪憂。為更好的控制食品安全衛生問題，國家也相應的出臺了法律法規，來監督、約束、杜絕、懲處食品安全衛生法的違法行為，并對相關食品生產經營企業提出符合良好凈化車間生產規范要求。為了使食品生產全過程不受微生物污染對于易變質的危害，要對原料、水、設備等進行處理，凈化車間的環境是否潔凈也是重要的一個條件，此外部分食品要求潔凈無菌的凈化車間生產環境，諸如以下行業。新風量：潔凈室內應保證一定的新鮮空氣量，其數值應取下列風量中的最大值;吉林制藥凈化工程凈化方案：1、全室凈化以集中凈化空調系統，在整個房間內造成具有相同...

奶制品酸牛奶、無菌牛奶或奶酪的加工，以及瑞典的臘腸包裝中經常用到無菌處理。一些大型設施要求100,000級(ISO8級和9級)以上。灌裝(酒類、飲料等)啤酒、果汁和汽水無菌填裝工藝增加了ISO5級(100級)和ISO6級(1,000級)潔凈室。傳統系統中隧道式巴氏消毒法對產品進行各種高溫處理，得到的產品在物理特性上發生變化。相比之下，對受控巴氏消毒法的無菌充裝采用較低熱處理，可在幾方面改進產品的質量。在凈化車間內生產的食品，由于其具有較高的潔凈度可以保證食品不被細菌附著，但不能消除食品本身帶來的細菌，因此還需要加熱、噴藥、照射等方式滅菌。很多食品潔凈室主要用于滅菌后的冷卻、切斷(片)、包裝等工...

奶制品酸牛奶、無菌牛奶或奶酪的加工，以及瑞典的臘腸包裝中經常用到無菌處理。一些大型設施要求100,000級(ISO8級和9級)以上。灌裝(酒類、飲料等)啤酒、果汁和汽水無菌填裝工藝增加了ISO5級(100級)和ISO6級(1,000級)潔凈室。傳統系統中隧道式巴氏消毒法對產品進行各種高溫處理，得到的產品在物理特性上發生變化。相比之下，對受控巴氏消毒法的無菌充裝采用較低熱處理，可在幾方面改進產品的質量。在凈化車間內生產的食品，由于其具有較高的潔凈度可以保證食品不被細菌附著，但不能消除食品本身帶來的細菌，因此還需要加熱、噴藥、照射等方式滅菌。很多食品潔凈室主要用于滅菌后的冷卻、切斷(片)、包裝等工...

接下來小編帶大家看看潔凈車間構成需要留意哪些方面?潔凈生產區，這是潔凈車間的關鍵一部分，潔凈生產區的氣體潔凈室等級依據商品生產工藝流程規定明確，這是潔凈工程建筑廠房設計的關鍵根據，顧客除出示基本建設工程圖紙外，請出示所生產制造商品的各種各樣設計標準，如溫度、環境濕度、氣旋流形規定，生產制造需要原輔助料特性和水、電、氣的規定，噪音、震動、靜電感應等自然環境標準和規定。管理區，這是潔凈車間內的商品加工過程的企業生產管理、技術水平的管理用地和必需的實際操作工作人員的歇息。正常的氣壓是正常工作的基本條件。必要的壓差是控制漏氣方向的手段。臺州醫療凈化工程潔凈室施工有哪些安全規范？潔凈室施工必須嚴格按照設...

凈化工程工作技術規范：無菌車間殺菌。應用前直射紫外線滅菌燈三十分鐘之上，或應用前噴霧器三十分鐘，向內外室噴霧器5%甲酸。用肥皂洗手后，將必需的器械搬進戶外，拆換在戶外殺菌的工作服裝、工帽和工鞋，戴上口罩后，用2%煤酚肥皂水門把侵泡2分鐘。將各種各樣必需物件搬進房間內開展查驗、精細定位，用5%酚酸噴霧器到餐桌上邊和工作員站起室內空間，回到戶外，5~十分鐘后進到房間內工作中。打疫苗操作過程，用70%酒精棉球擦手開展無菌操作原則時，請盡可能緩解姿勢，降低氣體起伏和路面塵土。潔凈室與周圍的空間必須維持一定的壓差，并按生產工藝要求來決定維持正壓差或負壓差。紹興醫用凈化工程接下來小編帶大家看看潔凈車間構成...

凈化車間風淋室的吹淋時間風淋室的吹淋時間是在0至99秒之間可以調的。只是眾多客戶一般都選擇15秒左右。那么為什么選擇15秒呢？跟著小編往下看吧！一、如果吹淋時間太少，可能導致人體或貨物所攜帶的塵埃吹不干凈。二、如果吹淋時間太長，又將導致消耗時間太多。如果工廠或者公司需要通過風淋的人數較多的話，可以會在規定的時間內無法全部通過風淋。三、15秒這個數值，一般在電子廠，食品廠，醫藥廠為常見。因為這類工廠，人體上面一般攜帶的塵埃不是很多，15秒的吹淋時間足夠把身上的塵埃吹干凈了。潔凈車間濕度也是基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對于濕度都有明確的要求。福建機電凈化工程實驗室凈化工程適用于哪些行業的公司？...

凈化工程工作技術規范：工作中請確保安全。棉塞起火后，用力握緊，用濕挎包著消退，不必用嘴吹。請不要擴張點燃。菌培養物外溢或開裂菌器皿時，用5%酚濕巾紙包裹后，用5%酚濕巾紙擦地板或木地板，用酒精棉球擦手再次實際操作。工作完畢后，馬上清掃柜臺，不應該存放在無菌車間，只是把廢料所有帶出無菌車間后，在無菌車間噴霧器5%的甲酸，或是開啟紫外線滅菌燈直射三十分鐘。凈化工程控溫培養室1.培養室的設定：培養室為內外2個，房間內為培養室，戶外為緩存室。屋子容量并不大，有益于氣體殺菌，房間內總面積在3.2*4.4=14m2上下，戶外總面積在3.2*1.8=6m2上下，高寬比在2.5m上下，必須吊頂天花板。在隔開房...

在電子車間凈化工程的設計、安裝、選擇凈化設備與彩鋼夾芯板的時候有哪些需要注意的要點呢？這些看起來不太重要的細節，卻往往的影響了電子凈化車間的凈化效率與潔凈度。而且這些注意要點，不僅在電子凈化車間中適用，在食品加工廠、制藥凈化車間、無塵無菌室中同樣適用，那么在電子車間中有哪些注意要點呢？首先，便是凈化廠房的隔斷、頂板、墻面的彩鋼板板材的選用，一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板較為適應，不僅美觀，而且剛性強。在地坪選材方面，一般電子車間廠房選用靜電的環氧樹脂或者PVC地坪較多。在高效送風口的選擇上，一般在要求較高的潔凈室中，可以選擇液槽送風口，在沖孔網板可以選擇采用烤漆鋁板，這樣不容易積塵，不易生銹，...

無塵車間的特性：1、無塵車間是空氣的潔凈度達到一定級別的可供人活動和生產的空間，其功能是能控制微粒的污染。這表明無塵車間的潔凈不是一般的干凈，而是達到了一定的空氣潔凈度級別，在我國制藥行業，低等級別的是30萬級，凈化車間必須具有控制微粒污染、抵抗外界干擾的能力。2、無塵車間是一個多功能的綜合整休，多功能體現在以下兩個方面：(1)多專業--建筑、空調、凈化、純水、純氣。(2)多參數--空氣潔凈度、細菌濃度以及空氣的量(風量)、壓(壓力)、聲(噪聲)、光(照度)。3、對于無塵車間的質量來說，在重要性方面，設計、施工和運行管理各占1/3，也就是說無塵車間本身也是通過從設計到管理的全過程來體現其質量的...

凈化工程概述在一定空間范圍內，將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內的工程學科。凈化工程所特別設計的房間，不論外在空氣前提如何變化，室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等機能。控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中出產、制造。此空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。進入潔凈室之前，必須要移除珠寶等個人物品，因為會將多余的多余顆粒釋放到空氣中。泰州手術潔凈室凈化工程施工無菌室要求表現在使用與管理方面主要有如下幾點：無菌室要求定期檢查室內空氣無菌狀...

潔凈廠房空調凈化系統設計下列情況的空氣凈化系統宜分開設置：單向流潔凈室與非單向流潔凈室；高效空氣凈化系統與中效空氣凈化系統；運行班次和使用時間不同的潔凈室。下列情況的空氣凈化系統，如經處理仍不能避免交叉污染時，則不應利用回風：固體物料的粉碎、稱量、配料、混合、制粒、壓片、包衣、灌裝等工序；固體口服制劑的顆粒、成品干燥設備所使用的凈化空氣；用有機溶媒精制的原料藥精制、干燥工序；凡工藝過程中產生大量有害物質，揮發性氣體的生產工序。萬級無塵車間的凈化要求主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內的空氣，將室內的污染逐漸排出，來實現潔凈效果。蘇州無塵車間凈化工程施工設計進入無塵凈化房需穿無塵服，除了衣服本身不能成為...

隨著大眾對健康問題關注度及認知度的提升，特別是近年被大眾所詬病的食品安全衛生問題，安全狀況令人堪憂。為更好的控制食品安全衛生問題，國家也相應的出臺了法律法規，來監督、約束、杜絕、懲處食品安全衛生法的違法行為，并對相關食品生產經營企業提出符合良好凈化車間生產規范要求。為了使食品生產全過程不受微生物污染對于易變質的危害，要對原料、水、設備等進行處理，凈化車間的環境是否潔凈也是重要的一個條件，此外部分食品要求潔凈無菌的凈化車間生產環境，諸如以下行業。潔凈工作臺的構造要求：臺面采用木質塑料貼面貼于層壓板上做成臺面，或采用不銹鋼做臺面；安徽機電凈化工程講解無塵車間風管的安裝無塵車間風管的裝置無塵車間風管...

凈化工程概述復合式：復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈地道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%籠蓋使潔凈度等級進步至10級以上，可節省安裝運轉用度。此型式需將功課職員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈地道另有二項長處：A.彈性擴充輕易；B.維修設備時可在維修區等閑執行。(2)潔凈管道(CleanTube)：將產品流程經由的自動出產線包抄并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和功課員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可...