表面粗糙度(Surface Roughness):有部分廠家,在光學(xué)平臺的指標(biāo)中,標(biāo)稱表面粗糙度的概念,往往存在一些誤導(dǎo)。國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T3505-2000中規(guī)定了評定表面粗糙度的各種參數(shù),其中常用的是輪廓算術(shù)平均偏差Ra。輪廓算術(shù)平均偏差Ra是指在取樣長度內(nèi)...
隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成...
密封平臺顯微鏡設(shè)備用戶應(yīng)采取接觸固定的方法并予以充分的保護,要確保加工面與玻璃的接觸面積大于5mm,而不應(yīng)是所有光學(xué)平臺顯微鏡本身就不能再進行其他的玻璃保護處理。用戶一方面要保護好產(chǎn)品,一方面要保證安全拿人開刀才是很危險的事小尺寸全硬板狀的平板顯微鏡工作時應(yīng)該...
光學(xué)平臺隔振腿除了支撐,主要作用是隔離來自地面的振動,隔振性能是其Z重要指標(biāo)之一。其他性能還包括:各腿高度單獨調(diào)節(jié),自動水平,載重能力,高度可選,有無磁性等等。光學(xué)平板按其結(jié)構(gòu)可分為:實體光學(xué)平板和夾心光學(xué)平板兩種。實體光學(xué)平板主要是將實體材料進行機械加工而成...
取樣長度若取0.25mm時,精密及超精密加工表面的表面粗糙度Ra>0.02~0.1μm;當(dāng)取樣長度取0.8mm時,普通精加工表面Ra>0.1~2μm。根據(jù)上述說明,取樣長度為0.8mm,表面粗糙度為0.5~0.8μm時,表面加工精度屬于一般水平。勤確的光學(xué)平臺...
手動探針臺規(guī)格描述(以實驗室常見的儀準(zhǔn)ADVANCED八寸,六寸探針臺為例):探針臺載物臺平整度:5μm探針臺右側(cè)標(biāo)配顯微鏡升降機構(gòu),可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測物探針臺左側(cè)標(biāo)配升降器,可快速升降臺面8mm,并具備鎖定功能探針臺右下方標(biāo)配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪,可微...
對于當(dāng)今的多芯片(multi-die packages)封裝,例如堆疊芯片級封裝(SCSP)或系統(tǒng)級封裝(SiP)–開發(fā)用于識別已知測試芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接觸式(RF)探針對提高整體系統(tǒng)產(chǎn)量至關(guān)重要。晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任...
光學(xué)平臺的磨削是有極限的,這個加工的極限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右,換算成平方米大約為:±0.03mm/m2,但這個平面度,同大理石平臺的平面度相差甚遠(yuǎn)。大理石平臺根據(jù)平面度指標(biāo)一般分為:000級(平面度≤3μm/m2)、00級(平面度...
光學(xué)平臺又稱光學(xué)桌面,供水平、穩(wěn)定的臺面,一般平臺都需要進行隔振等措施,保證其不受外界因素干擾,使科學(xué)實驗正常進行。目前來說,有主動與被動兩大類。而被動又有橡膠與氣浮兩大類。固體阻尼隔震光學(xué)平臺和自動充氣平衡隔震光學(xué)平臺。光學(xué)平臺追求水平,首先加工的時候整個臺...
高精度探針臺:目前世界出貨量的型號吸收了很新的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證。特性1:OTS-近的位置對正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對準(zhǔn))OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非...
夾心光學(xué)平板主要是由帶磁不銹鋼(不銹鐵)及填充材料組成(目前使用Z多的填充材料是蜂窩巢結(jié)構(gòu)材料及型鋼框架結(jié)構(gòu))。特點是:固有頻率低,吸振性能強。光學(xué)平臺支架按其隔振形式主要分為:機械式隔振支架與氣墊式隔振支架。機械式隔振支架主要是利用各種隔振材料(如:減震彈簧...
振動恢復(fù)時間是某一點上開始振動到恢復(fù)到初始狀態(tài)所需要的很短時間。若要縮短光學(xué)平臺的振動恢復(fù)時間,通常有兩個辦法:增大彈簧的彈性系數(shù)k。對于阻尼隔振平臺,可以換用材質(zhì)較硬的阻尼材料;對于充氣平臺,可以適度增加空氣壓力;控制光學(xué)平臺臺面的質(zhì)量。在不影響剛度的前提下...
定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等,用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,而定子則按不同的細(xì)分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進運動。對定子的損傷將直接影響工...
對于平臺上的光學(xué)元件來說,平面度引起的高度差,通常可以忽略不計,若確有必要考慮高度差,則完全可以通過勤確精密調(diào)整的位移臺來實現(xiàn)。綜上所述,光學(xué)平臺的平面度,同光學(xué)平臺的隔振性能不相關(guān),只能做為光學(xué)平臺的一個輔助指標(biāo),供參考。振動物體離開平衡位置的距離叫振動的振...
隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成...
光學(xué)平臺測量方法:使用脈沖錘對平臺或面包板的表面施加一個已測量的外力,并將一個傳感器貼合在平臺或面包板表面對合成振動進行測量。探測器發(fā)出的信號通過分析儀進行讀取,并用于產(chǎn)生頻率響應(yīng)譜(即柔量曲線)。在光學(xué)平臺的研發(fā)過程中,對平臺表面上很多點的柔量曲線進行記錄;...
在精密光學(xué)平臺上對反射光的處理要在光路中檢測對象的反射角度,檢測不同光波波段光路中的反射率,用電學(xué)透鏡圖片來處理多光線路徑的不同光路,建立角度矩陣、波長矩陣、光源矩陣等,確定光路系統(tǒng)中不同光路的光學(xué)模型。雖然利用光路光學(xué)儀器可以對光路進行單個或組合的光路模擬,...
探針臺可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允...
晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任何測試電路。一些公司從這些劃線測試結(jié)構(gòu)中獲得大部分有關(guān)器件性能的信息。當(dāng)特定芯片的所有測試圖案都通過時,它的位置會被記住,以便以后在IC封裝過程中使用。有時,芯片有內(nèi)部備用資源可用于修復(fù)(即閃存IC);如果它沒有通過某些測試...
熱穩(wěn)定性的關(guān)鍵之處在于各軸方向上都具有對稱、各向均勻的鋼制結(jié)構(gòu)。鋼制部件在熱交換過程中的延伸性和收縮性是相似的,可以在溫度變化過程中保持良好的平整度。鋼制的蜂窩芯結(jié)構(gòu)從頂板延伸到底板,中間并無塑料或鋁質(zhì)泄露管理結(jié)構(gòu),因此不會降低平臺整體的剛度或是引入更高的熱膨...
光學(xué)平臺很普遍使用的振動響應(yīng)傳遞函數(shù)為柔量。在恒定(靜態(tài))力的情況下,柔量可以定義為線性或角度錯位與所施加外力的比值。在動態(tài)變化力(振動)的情況下,柔量則可以定義為受激振幅(角度或線性錯位)與振動力振幅的比值。平臺的任意撓度都可以通過安裝在平臺表面的部件相對位...
定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等,用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,而定子則按不同的細(xì)分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進運動。對定子的損傷將直接影響工...
探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針...
光學(xué)平臺測量方法:使用脈沖錘對平臺或面包板的表面施加一個已測量的外力,并將一個傳感器貼合在平臺或面包板表面對合成振動進行測量。探測器發(fā)出的信號通過分析儀進行讀取,并用于產(chǎn)生頻率響應(yīng)譜(即柔量曲線)。在光學(xué)平臺的研發(fā)過程中,對平臺表面上很多點的柔量曲線進行記錄;...
高精度探針臺:目前世界出貨量的型號吸收了很新的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證。特性1:OTS-近的位置對正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對準(zhǔn))OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非...
光學(xué)平臺精密隔振系統(tǒng)設(shè)計需要考慮的環(huán)境微振動干擾是復(fù)雜的,包括:大型建筑物本身的擺動、地面或樓層間傳來的振動、電動儀器和設(shè)備的振動、各類機械振動、聲音引起的振動、外界街道交通引起的振動,甚至包括人員走動所引起的振動等。精密的光學(xué)實驗依賴于可靠的定位穩(wěn)定性,工作...
定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等,用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,而定子則按不同的細(xì)分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進運動。對定子的損傷將直接影響工...
平臺和面包板中的蜂窩芯結(jié)構(gòu)從頂板一直延伸到底板,中間無過渡層,從而構(gòu)成更加堅固、熱穩(wěn)定性更強的平臺產(chǎn)品。熱穩(wěn)定性的關(guān)鍵之處在于各軸方向上都具有對稱、各向均勻的鋼制結(jié)構(gòu)。鋼制部件在熱交換過程中的延伸性和收縮性是相似的,可以在溫度變化過程中保持良好的平整度。鋼制的...
探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺分類:探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探...
自動化加工系統(tǒng)平臺和面包板的特殊之處是采用自動軌道機械啞光表面加工,比老舊的平臺產(chǎn)品更加平滑、平整。這些平臺經(jīng)過改善的表面拋光處理后,表面平整度在1平方米(11平方英尺)內(nèi)可達±0.1毫米(±0.004英寸),為安裝部件提供了接觸表面,不需要使用磨具對頂面進行...