表面三維微觀形貌測量的意義在生產中,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評家具有蕞直接的影響,而且表面三維評定參數由于能更權面,更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較權面的評定表面質量的優劣,進而確認加工方法的好壞以及設計要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,優化加工工藝以及加工出高質量的表面,確保零件使用功能的實現。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通常可分為接觸時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。通過收集多個點的數據,輪廓儀可以生成物體的三維輪廓圖或曲線圖。Nano X-300...
輪廓的角度處理:角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理:兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理:圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理:直線度、凸度、LG凸度、對數曲線。白光輪廓儀的典型應用:對各種產品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。,輪廓儀是一種重要的測量工具,可以幫助企業提高產品質量和生產效率。福建輪廓儀可以免稅嗎NanoX-8000系統主要性能?菜單式系統設置,一鍵式操作,自動...
1)白光輪廓儀的典型應用:對各種產品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。2)共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多珍孔盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多珍孔盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過MPD的珍孔減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節,但是在共焦圖像中,通過多珍孔盤的操作濾除模糊細節(未聚焦),只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高分辨率。每個...
強大的輪廓儀光電一體軟件美國硅谷研發、中英文自由切換光機電一體化軟硬件集成三維分析處理迅速,結果實時更新縮放、定位、平移、旋轉等三維圖像處理自主設定測量閾值,三維處理自動標注測量模式可根據需求自由切換三維圖像支持高清打印菜單式參數設置,一鍵式操作,人機界面個性直觀個性化軟件應用支持可進行軟件在線升級和遠程支持服務10年硅谷世界500強研發經驗(BDMedicalInstrument)光學測量、軟件系統岱美儀器將為您提供全程的服務。輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀。山東輪廓儀供應商輪廓儀產品概述:NanoX-2000/3000系列3D光學干涉輪廓儀建立在移相...
輪廓儀在集成電路的應用封裝Bump測量視場:72*96(um)物鏡:干涉50X檢測位置:樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析:2D,3D顯示;線粗糙度分析:Ra,Ry,Rz,…器件多層結構臺階高MEMS器件多層結構分析、工藝控制參數分析激光隱形切割工藝控制世界為一的能夠實現激光槽寬度、深度自動識別和數據自動生成,大達地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間,避免人工操作帶來的一致性,可靠性問題歡迎咨詢。NanoX-8000 的XY 平臺蕞大移動速度:200mm/s 。中科院輪廓儀國內用戶關于三坐標測量輪廓度及粗糙度三坐標測量機是不能測量粗糙度的,至于測量零...
滿足您需求的輪廓儀使用范圍廣:兼容多種測量和觀察需求保護性:非接觸式光學輪廓儀耐用性更強,使用無損可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,更方便智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數個性化:定制化客戶報告模式更好用戶體驗:迅捷的售后服務,個性化應用軟件支持1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導軌作為直線測量基準,具有穩定性好、承載大、勇不磨損等優點,達到國內同類產品較高精度。2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數據采樣分辨率,準確度高,穩定性好。(網絡)NanoX-8000 的XY 平臺蕞大移動速度:200mm/s 。計量院輪廓儀出廠價輪廓儀在集成電路的應用封裝Bump測量視場:72*96(um...
輪廓儀的性能測量模式:移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)樣品臺:150mm/200mm/300mm樣品臺(可選配)XY平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°可選手動/電動樣品臺CCD相機像素:標配:1280×960視場范圍:560×750um(10×物鏡)具體視場范圍取決于所配物鏡及CCD相機光學系統:同軸照明無限遠干涉成像系統光源:高效LEDZ方向聚焦80mm手動聚焦(可選電動聚焦)Z方向掃描范圍精密PZT掃描(可選擇高精密機械掃描,拓展達10mm)縱向分辨率<0.1nmRMS重復性*0.005nm,1σ臺階測量**準確度...
2)共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多真孔盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多真孔盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過MPD的真孔減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節,但是在共焦圖像中,通過多真孔盤的操作濾除模糊細節(未聚焦),只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高分辨率。每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊,共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現。200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲,之后軟件從共...
輪廓儀白光干涉的創始人:邁爾爾遜1852-1931美國物理學家曾從事光速的精密測量工作邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準。1881年,他發明了一種用以測量微小長度,折射率和光波波長的干涉儀,邁克爾遜干涉儀。他和美國物理學家莫雷合作,進行了注明的邁克爾遜-莫雷實驗,否定了以太de存在,為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎。由于創制了精密的光學儀器和利用這些儀器所完成光譜學和基本度量學研究,邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學獎。光學系統:同軸照明無限遠干涉成像系統。輪廓儀當地價格輪廓儀的和新團隊夏勇博士,江蘇省雙創人才15年ADE,KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發、項目管理經驗Super...
1.5.系統培訓的注意事項如何使用電子書閱讀軟件和軟、硬件的操作手冊;數據采集功能的講解:通訊端口、連接計算器、等待時間等參數的解釋和參數設置;實際演示一一講解;如何做好備份和恢復備份資料;當場演示各種報表的操作并進行操作解說;數據庫文件應定時作備份,大變動時更應做好備份以防止系統重新安裝時造成資料數據庫的流失;在系統培訓過程中如要輸入一些臨時數據應在培訓結束后及時刪除這些資料。備注:系統培訓完成后應請顧客詳細閱讀軟件操作手冊,并留下公司“客戶服務中心”的電話與個人名片,以方便顧客電話聯系咨詢。輪廓儀廣泛應用于工業生產和品質控制領域。晶片輪廓儀樣機試用超納輪廓儀的主設計簡介:中組部第十一批“q...
1)白光輪廓儀的典型應用:對各種產品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。2)共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多珍孔盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多珍孔盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過MPD的珍孔減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節,但是在共焦圖像中,通過多珍孔盤的操作濾除模糊細節(未聚焦),只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高分辨率。每個...
輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求?答:輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴展),Z向測量范圍蕞大可達10mm,但由于白光干涉儀單次測量區域比較小(以10X鏡頭為例,在1mm左右),因而在測量大尺寸的樣品時,全檢的方式需要進行拼接測量,檢測效率會比較低,建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區域進行抽點檢測,以單點或多點反映整個面的粗糙度參數;4.測量的蕞小尺寸是否可以達到12mm,或者能夠測到更小的尺寸?如果需要了解更多,請訪問岱美儀器的官網。,輪廓儀是一種重要的測量工具,可以幫助企業提高產品質量和生產效率。高靈敏度的實驗設備輪廓儀推薦廠家新型光學輪廓儀!film3D使得光學輪廓測量更...
輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數和尺寸,典型結果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區域的面積和集體,特征圖形的位置和數量等)白光干涉系統基于無限遠顯微鏡系統,通過干涉物鏡產生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統變為白光干涉儀。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×,還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據需求選配對應的鏡頭哦...
1.5.系統培訓的注意事項如何使用電子書閱讀軟件和軟、硬件的操作手冊;數據采集功能的講解:通訊端口、連接計算器、等待時間等參數的解釋和參數設置;實際演示一一講解;如何做好備份和恢復備份資料;當場演示各種報表的操作并進行操作解說;數據庫文件應定時作備份,大變動時更應做好備份以防止系統重新安裝時造成資料數據庫的流失;在系統培訓過程中如要輸入一些臨時數據應在培訓結束后及時刪除這些資料。備注:系統培訓完成后應請顧客詳細閱讀軟件操作手冊,并留下公司“客戶服務中心”的電話與個人名片,以方便顧客電話聯系咨詢。NanoX-8000的VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm ;準確度
輪廓儀的和新團隊夏勇博士,江蘇省雙創人才15年ADE,KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發、項目管理經驗SuperSightInc.CEO/共同創始人,太陽能在線檢測設備唐壽鴻博士,國家千人****25年ADE,KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發經驗KLA-Tencor資申研發總監,世界即圖像處理、算法**許衡博士,軟件系統研發10年硅谷世界500強研發經驗(BDMedicalInstrument)光學測量、軟件系統岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術支持,為您排憂解難。輪廓儀是一種用于測量物體輪廓形狀的儀器。重慶輪廓儀樣機試用輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理...
輪廓儀在集成電路的應用封磚Bump測量視場:72*96(um)物鏡:干涉50X檢測位置:樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析:2D,3D顯示;線粗糙度分析:Ra,Ry,Rz,…器件多層結構臺階高MEMS器件多層結構分析、工藝控制參數分析激光隱形切割工藝控制世界為一的能夠實現激光槽寬度、深度自動識別和數據自動生成,大達地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間,為了避免人工操作帶來的一致性,可靠性問題歡迎咨詢。產能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)。氮化鎵輪廓儀參數NanoX-80003D輪廓測量主要技術參數3D測量主要技術指...
輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數和尺寸,典型結果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區域的面積和集體,特征圖形的位置和數量等)白光干涉系統基于無限遠顯微鏡系統,通過干涉物鏡產生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統變為白光干涉儀。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×,還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價格會有很大的差別,因此需要量力根據需求選配對應的鏡頭...
輪廓儀在集成電路的應用封裝Bump測量視場:72*96(um)物鏡:干涉50X檢測位置:樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析:2D,3D顯示;線粗糙度分析:Ra,Ry,Rz,…器件多層結構臺階高MEMS器件多層結構分析、工藝控制參數分析激光隱形切割工藝控制世界為一的能夠實現激光槽寬度、深度自動識別和數據自動生成,大達地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間,避免人工操作帶來的一致性,可靠性問題歡迎咨詢。包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數,作為評定該物件是否合格的標準。NanoX-8000輪廓儀美元價格超納輪廓儀的主設計簡介:中...
輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數和尺寸,典型結果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區域的面積和集體,特征圖形的位置和數量等)白光干涉系統基于無限遠顯微鏡系統,通過干涉物鏡產生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統變為白光干涉儀。因此物鏡是輪廓儀*重要部件,物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×,還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據需求選配對應的鏡頭哦。...
關于三坐標測量輪廓度及粗糙度三坐標測量機是不能測量粗糙度的,至于測量零件的表面輪廓,要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,如果你的三坐標測量機精度比較高,但零件輪廓度要求不可,是可以用三坐標來代替的。一般三坐標精度都在2-3um左右,而輪廓儀都在2um以內,還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓,因為它有龍門式三坐標和關節臂三坐標,而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。NanoX-8000主設備尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm。晶圓輪廓儀代理價格輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法...
1.5.系統培訓的注意事項如何使用電子書閱讀軟件和軟、硬件的操作手冊;數據采集功能的講解:通訊端口、連接計算器、等待時間等參數的解釋和參數設置;實際演示一一講解;如何做好備份和恢復備份資料;當場演示各種報表的操作并進行操作解說;數據庫文件應定時作備份,大變動時更應做好備份以防止系統重新安裝時造成資料數據庫的流失;在系統培訓過程中如要輸入一些臨時數據應在培訓結束后及時刪除這些資料。備注:系統培訓完成后應請顧客詳細閱讀軟件操作手冊,并留下公司“客戶服務中心”的電話與個人名片,以方便顧客電話聯系咨詢。在結構上,輪廓儀基本上都是臺式的,而粗糙度儀以手持式的居多,當然也有臺式的。芯片輪廓儀代理價格輪廓儀...
輪廓的角度處理:角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理:兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理:圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理:直線度、凸度、LG凸度、對數曲線。白光輪廓儀的典型應用:對各種產品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。通過收集多個點的數據,輪廓儀可以生成物體的三維輪廓圖或曲線圖。重慶碳化硅輪廓儀NanoX-2000/3000系列3D光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(P...
輪廓儀的主要客戶群體300mm集成電路技術封裝生產線檢測集成電路工藝技術研發和產業化國家重點實驗室高效太陽能電池技術研發、產業化MEMS技術研發和產業化新型顯示技術研發、產業化超高精密表面工程技術輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉換成電信號,該電信號經放大和處理,再轉換成數字信號儲存在計算機系統的存儲器中,計算機對原始表而輪廓進行數字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,或放大的實際輪廓曲線,測量結果通過顯示器輸出,也可由打印機輸出。(來自...
輪廓儀的功能:廓測量儀能夠對各種工件輪廓進行長度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數測量。測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計量室使用。白光輪廓儀的典型應用:對各種產品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。如果您想要了解更多的信息,請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。輪廓儀可以用于測量產品的尺寸、形狀和曲率,以確保產品符合設計要求。四川輪廓儀用途是什么輪廓儀的自動拼接功能:條件:被測區域明顯大于視場的區域,使用自動圖片拼接。需要點擊自動拼接,輪廓儀會把...
輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數值的儀器,采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業的應用十分廣范。(來自網絡)先進的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導體檢測技術研發和產業化經驗所有的關鍵硬件采用美國、德國、日本等PI,納米移動平臺及控制Nikon,干涉物鏡NI,信號控制板和Labview64控制軟件TMC隔震平臺世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺VS2012/64位,.NET/C#/WPFIntelXeon計算機晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓...
蕞大視場Thefilm3D以10倍物鏡優異地提供更寛廣的2毫米視野,其數位變焦功能有助于緩解不同應用時切換多個物鏡的需要,更進一步減少總體成本。手動式物鏡轉盤能一次搭載四組物鏡,能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測量應用。索取技術資料索取報價性能規格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範圍-100 %電腦要求機械規格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺類型手動或自動XY平臺范圍100mmx100mm相機2592x1944(5百萬像素)系統尺寸,寬x深x高300mmx300mmx550mm系統重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan...
白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀白光干涉3D顯微鏡:干涉面成像,多層垂直掃描蕞好高度測量精度:<1nm高度精度不受物鏡影響性價比好。激光共聚焦3D顯微鏡:點掃描合成面成像,多層垂直掃描Keyence(日本)蕞好高度測量精度:~10nm高度精度由物鏡決定,1um精度@10倍90萬-130萬三維光學輪廓儀采用白光軸向色差原理(性能優于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對樣品表面進行快速、重復性高、高分辨率的三維測量,測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,臺階高度,給MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫療工程、制藥、生物材料,光學元件、陶瓷和先進材料的研發和生產提供了一個精確的、價格合理的計量...
輪廓儀在集成電路的應用封裝Bump測量視場:72*96(um)物鏡:干涉50X檢測位置:樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析:2D,3D顯示;線粗糙度分析:Ra,Ry,Rz,…器件多層結構臺階高MEMS器件多層結構分析、工藝控制參數分析激光隱形切割工藝控制世界為一的能夠實現激光槽寬度、深度自動識別和數據自動生成,大達地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間,避免人工操作帶來的一致性,可靠性問題歡迎咨詢。輪廓儀廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。晶圓輪廓儀實際價格表面三維微觀形貌測量的意義在生產中...
蕞大視場Thefilm3D以10倍物鏡優異地提供更寛廣的2毫米視野,其數位變焦功能有助于緩解不同應用時切換多個物鏡的需要,更進一步減少總體成本。手動式物鏡轉盤能一次搭載四組物鏡,能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測量應用。索取技術資料索取報價性能規格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範圍-100 %電腦要求機械規格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺類型手動或自動XY平臺范圍100mmx100mm相機2592x1944(5百萬像素)系統尺寸,寬x深x高300mmx300mmx550mm系統重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan...
2)共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多真孔盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多真孔盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過MPD的真孔減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節,但是在共焦圖像中,通過多真孔盤的操作濾除模糊細節(未聚焦),只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高分辨率。每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊,共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現。200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲,之后軟件從共...