芯片研發(fā)制造過(guò)程鏈條漫長(zhǎng),很多重要工藝環(huán)節(jié)需要進(jìn)行精密檢測(cè)以確保良率,降低生產(chǎn)成本。提高制造控制工藝,并通過(guò)不斷研發(fā)迭代和測(cè)試,才能制造性能更優(yōu)異的芯片,走向市場(chǎng)并逐漸應(yīng)用到生活和工作的方方面面。由于芯片尺寸小,在溫度循環(huán)下的應(yīng)力,傳統(tǒng)測(cè)試方法難以獲取;高精度三維顯微應(yīng)變測(cè)量技術(shù)的發(fā)展,打破了原先在微觀尺寸測(cè)量領(lǐng)域的限制,特別是在半導(dǎo)體材料、芯片結(jié)構(gòu)變化細(xì)微的測(cè)量條件下,三維應(yīng)變測(cè)量技術(shù)分析尤為重要。 典型的DIC測(cè)量系統(tǒng)一般由CCD攝像機(jī)、照明光源、圖像采集卡及計(jì)算機(jī)組成。云南全場(chǎng)三維非接觸測(cè)量
公路變形監(jiān)測(cè)是確保公路安全與維護(hù)的重要環(huán)節(jié),但傳統(tǒng)的監(jiān)測(cè)方法在面對(duì)大范圍、復(fù)雜環(huán)境和高技術(shù)要求時(shí),往往顯得力不從心。幸運(yùn)的是,隨著科技的進(jìn)步,我們現(xiàn)在有了GNSS技術(shù)這一強(qiáng)大的工具來(lái)應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)。GNSS,即全球?qū)Ш叫l(wèi)星系統(tǒng),它通過(guò)接收來(lái)自多顆衛(wèi)星的信號(hào)進(jìn)行高精度定位。與傳統(tǒng)的監(jiān)測(cè)方法相比,GNSS技術(shù)具有明顯的優(yōu)勢(shì)。它不需要通視,能夠24小時(shí)不間斷地工作,并且在很大程度上節(jié)省了人力,提高了監(jiān)測(cè)的自動(dòng)化水平。研究表明,在水平位移觀測(cè)中,GNSS技術(shù)能夠精確到2厘米以內(nèi)的位移矢量。這意味著即使是微小的公路變形也難逃其“法眼”。這種高精度的監(jiān)測(cè)能力為公路維護(hù)和管理提供了寶貴的數(shù)據(jù)支持,有助于及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題并采取相應(yīng)的措施。此外,在高程測(cè)量方面,GNSS技術(shù)同樣表現(xiàn)出色,其精度可以控制在10厘米以內(nèi)。這一精度水平完全滿足公路監(jiān)測(cè)的要求,進(jìn)一步證實(shí)了GNSS技術(shù)在公路監(jiān)測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用價(jià)值。總之,GNSS技術(shù)以其高精度、高自動(dòng)化和全天候工作的特點(diǎn),為公路變形監(jiān)測(cè)帶來(lái)了改變性的變革。它不只提高了監(jiān)測(cè)效率,而且為公路的安全和維護(hù)提供了更為可靠的技術(shù)保障。 貴州三維全場(chǎng)數(shù)字圖像相關(guān)測(cè)量系統(tǒng)光學(xué)應(yīng)變技術(shù)不受環(huán)境、電磁干擾影響,提供可靠、穩(wěn)定的應(yīng)變測(cè)量結(jié)果。
金屬應(yīng)變計(jì)是一種用于測(cè)量物體應(yīng)變的裝置,其實(shí)際應(yīng)變計(jì)因子可以從傳感器制造商或相關(guān)文檔中獲取,通常約為2。由于應(yīng)變測(cè)量通常很小,只有幾個(gè)毫應(yīng)變(10?3),因此需要精確測(cè)量電阻的微小變化。例如,當(dāng)測(cè)試樣本的實(shí)際應(yīng)變?yōu)?00毫應(yīng)變時(shí),應(yīng)變計(jì)因子為2的應(yīng)變計(jì)可以檢測(cè)到電阻變化為2(50010??)=。對(duì)于120Ω的應(yīng)變計(jì),變化值只為Ω。為了測(cè)量如此小的電阻變化,應(yīng)變計(jì)采用基于惠斯通電橋的配置概念。惠斯通電橋由四個(gè)相互連接的電阻臂和激勵(lì)電壓VEX組成。當(dāng)應(yīng)變計(jì)與被測(cè)物體一起安裝在電橋的一個(gè)臂上時(shí),應(yīng)變計(jì)的電阻值會(huì)隨著應(yīng)變的變化而發(fā)生微小的變化。這個(gè)微小的變化會(huì)導(dǎo)致電橋的電壓輸出發(fā)生變化,從而可以通過(guò)測(cè)量輸出電壓的變化來(lái)計(jì)算應(yīng)變的大小。除了傳統(tǒng)的應(yīng)變測(cè)量方法外,光學(xué)非接觸應(yīng)變測(cè)量技術(shù)也越來(lái)越受到關(guān)注。這種技術(shù)利用光學(xué)原理來(lái)測(cè)量材料的應(yīng)變,具有非接觸、高精度和高靈敏度等優(yōu)點(diǎn)。它能夠通常使用光纖光柵傳感器或激光干涉儀等設(shè)備來(lái)測(cè)量材料表面的位移或形變,從而間接計(jì)算出應(yīng)變的大小。這種新興的測(cè)量技術(shù)為應(yīng)變測(cè)量帶來(lái)了新的可能性,并在許多領(lǐng)域中得到了普遍應(yīng)用。
電子散斑干涉技術(shù)特點(diǎn):技術(shù)優(yōu)勢(shì)納米級(jí)位移靈敏度全場(chǎng)實(shí)時(shí)測(cè)量能力對(duì)振動(dòng)不敏感可測(cè)微小變形系統(tǒng)配置要點(diǎn)激光光源穩(wěn)定性<0.5%防振光學(xué)平臺(tái)相移裝置精度λ/100溫控環(huán)境建議±1℃典型應(yīng)用場(chǎng)景微電子器件熱變形MEMS器件測(cè)試薄膜殘余應(yīng)力分析微納尺度力學(xué)行為,系統(tǒng)集成解決方案與力學(xué)測(cè)試設(shè)備聯(lián)用原位加載系統(tǒng)同步控制多物理場(chǎng)數(shù)據(jù)融合實(shí)時(shí)應(yīng)變反饋系統(tǒng)異構(gòu)圖譜數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)特殊環(huán)境集成(1)高溫環(huán)境:耐高溫鏡頭保護(hù)熱輻射校正算法藍(lán)光照明方案(2)真空環(huán)境:光學(xué)窗口長(zhǎng)距顯微配置防污染設(shè)計(jì)(3)液體環(huán)境:防水觀測(cè)窗折射率補(bǔ)償懸浮粒子示蹤。三維應(yīng)變測(cè)量技術(shù)通過(guò)測(cè)量物體表面上的位移或形變信息,可以推斷出物體在空間中各個(gè)方向上的應(yīng)變狀態(tài)。
在橋梁靜動(dòng)載試驗(yàn)時(shí),如何減小應(yīng)變測(cè)試中的各種干擾因素,提高檢測(cè)效率和測(cè)量數(shù)據(jù)的可信度,是長(zhǎng)期以來(lái)工程師們一直在苦苦探索的問(wèn)題。經(jīng)過(guò)多年的技術(shù)攻關(guān),終于研發(fā)成功了一種可裝配式多用途應(yīng)變測(cè)量傳感器,成功地應(yīng)用在了多座橋梁的靜動(dòng)載試驗(yàn)中,有效解決了橋梁靜動(dòng)載試驗(yàn)中應(yīng)變測(cè)量時(shí)遇到的一系列問(wèn)題,特別是惡劣環(huán)境下的應(yīng)變測(cè)試問(wèn)題。應(yīng)變片由兩個(gè)相同的敏感柵重疊配置,可以抵消所產(chǎn)生的電磁感應(yīng)噪聲。導(dǎo)線采用絞合線,同樣可以抵消感應(yīng)噪聲,因此該應(yīng)變片不易受交變磁場(chǎng)的影響。 三維應(yīng)變測(cè)量技術(shù)采用可移動(dòng)式非接觸測(cè)量頭,可以方便地整合應(yīng)用到靜態(tài)、動(dòng)態(tài)、高速和高溫等測(cè)量環(huán)境中。福建三維全場(chǎng)數(shù)字圖像相關(guān)技術(shù)應(yīng)變測(cè)量系統(tǒng)
數(shù)字圖像相關(guān)法(DIC):通過(guò)捕捉物體表面的圖像,并利用圖像處理算法計(jì)算物體表面的位移和應(yīng)變情況。云南全場(chǎng)三維非接觸測(cè)量
對(duì)鋼材性能的應(yīng)變測(cè)量主要是檢查裂紋、孔、夾渣等,對(duì)焊縫主要是檢查夾渣、氣泡、咬邊、燒穿、漏焊、未焊透及焊腳尺寸不夠等,對(duì)鉚釘或螺栓主要是檢查漏焊、漏檢、錯(cuò)位、燒穿、漏焊、未焊透及焊腳尺寸等。檢驗(yàn)方法主要有外觀檢驗(yàn)、X射線、超聲波、磁粉、滲透性等。超聲波在金屬材料測(cè)量中對(duì)頻率要求高,功率不需要過(guò)大,因此測(cè)量靈敏度高,測(cè)試精度高。超聲測(cè)量一般采用縱波測(cè)量和橫波測(cè)量(主要用來(lái)測(cè)量焊縫)。用超聲來(lái)檢查鋼結(jié)構(gòu)時(shí),要求測(cè)量點(diǎn)的平整度、光滑。云南全場(chǎng)三維非接觸測(cè)量