氦質譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。氦質譜檢漏儀主要技術指標：1.可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s；2.漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s；3.啟動時間：≤5min；4.響應時間：≤1s；5.檢漏口的壓力：1500Pa；6.電源要求：220v，50Hz，單相，10A；7.工作環境：5-35℃；8.相對濕度：≤80%；9.外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）；10.重量：64kg。使用環境：環境溫度：5～35℃；相對濕度：<80%；供電電壓：單相交流220V±10%，50Hz工作電流：10A。氦質譜檢漏儀被普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發電廠、制冷工業等領域。合肥便攜式氦質譜檢漏儀
氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣，因為氦氣具有以下特性：①氦氣在空氣中的含量極少，只占約二十萬分之一，這樣氦氣的本底值就小，有利于發現極微量的氦氣;②氦分子小、質量輕、易擴散、易穿越漏孔，易于檢測也易于清理;③氦離子荷質比小，易于進行質譜分析;④氦氣是惰性氣體，化學性質穩定，不會腐蝕和損傷任何設備;⑤氦氣無毒，不凝結，極難容于水。氦質譜檢漏技術用于火力發電廠的檢漏工作,具有操作方便、靈敏度高和無損傷性等優點,特別是可以在正常運行中準確快捷地對機組進行檢漏,減少停機帶來的經濟損失。江蘇臺式氦質譜檢漏儀技術指導氦質譜檢漏儀能夠實現雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。
氦質譜檢漏儀性能試驗方法：1、反應時間、消除時間及其測定，反應時間是指儀器節流閥完全開啟，本底訊號為零(或補償到零)時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間，記為τR。消除時間是指輸出儀表訊號穩定到固定值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間，記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速，質譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數。利用氦質譜檢漏儀的真空規可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。
氦質譜檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩定，電壓過高會燒壞電源，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應連接穩壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。③氦質譜檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養，保養的項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。靈敏度、反應時間、消除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質譜檢漏儀的主要性能指標。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。
氦檢儀的撿漏方法有哪些？背壓法（壓氦法）真空模式。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣，迫使氦氣進入泄漏工件，再放入檢漏罐中檢測是否有氦氣漏出。可根據工件大小定制罐體大小?？蓹z測工件的整體漏點。檢測精度較高。適用行業：電子元器件，電子封裝等。氦質譜檢漏背壓法優點：檢測靈敏度高；可以進行批量化檢測；一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調整好，再將器件放入加壓罐內壓入氦氣，氦氣進入有漏孔的器件內部，無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時間根據GB2423，2328文件而定，器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空，待真空抽至設定值后自動將夾具連至儀器的測量系統。這時壓入存在漏孔器件內部的氦氣泄漏出來被檢測，其漏率在漏率表上顯示出來。一般壓氦法檢漏時采用排除法。在夾具中放一定數量的器件，這一批的總漏率沒超過報廢預定值，說明這一批合格；總漏率超過報廢預定值可以取出一半，剩下的一半繼續檢漏，這一半合格說明有漏的器件在取出的那一半中，依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。氦檢儀具有性能穩定、靈敏度高的特點。上海推車式氦質譜檢漏儀供應廠家
為防止油污、粉塵和雜物進入氦質譜檢漏儀，應在氦質譜檢漏儀下方設置過濾器。合肥便攜式氦質譜檢漏儀
隨著汽車行業的迅猛發展，汽車空調行業對氦檢的需求越來越大，對氦檢的性能指標要求越來越高。氦檢儀在汽車空調蒸發器、冷凝器和壓縮機檢漏上在擁有氦氣檢漏的普遍優點的同時，更具備操作方便、工作節拍快、誤判率低等獨有特點。對被檢工件抽空后充入一定壓強的氦氣，被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱與氦檢儀檢漏口相接。若被檢工件有漏，則漏入真空箱的氦氣可通過氦檢儀測出。與被檢工件相連的是充氣回收裝置，在檢漏前后分別實現氦氣的充鑄和回收。電廠使用氦檢儀主要是對汽輪機內部真空系統的檢漏，還有冷凝罐的檢漏，由于每一個環節如果有泄漏的話都會增加生產成本，所以電廠檢漏在實際生產中是非常重要的。氦檢儀在電廠檢漏領域被普遍使用。合肥便攜式氦質譜檢漏儀