上海分體式氦質譜檢漏儀工作原理

選擇氦檢儀時主要考慮以下問題：（1）儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合正壓法檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設置功能，不宜作為批量產品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應選擇有多工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內外生產的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，就應選擇無油真空系統的氦檢儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預抽泵抽速大的氦檢儀，否則就要外加預抽泵。（5）如果被檢對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的氦檢儀。（6）如果檢漏地點不固定，需要經常搬運儀器時，就要選擇小型便攜式儀器。（7）在滿足上述檢漏基本要求的基礎上，還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。氦質譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響。上海分體式氦質譜檢漏儀工作原理

氦質譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體？1、氦氣的質量輕，易于穿過漏孔，進入系統時流動和擴散快，因此響應快，檢漏靈敏度高。2、氦離子質荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當降低對分析器制造精度的要求，使質譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。全自動氦質譜檢漏儀定制氦質譜檢漏儀是對比性測試儀器。

如何正確選擇氦檢儀？（1）儀器的功能是否能滿足檢漏的要求，如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不合適正壓法檢漏：有些儀器沒有報廢漏率的設置功能，就不宜作為批量產品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，因此應選擇有雙工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度是否能滿足檢漏的要求。國內外生產的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，被應選擇無油真空系統的氦檢儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預抽泵抽速答的氦檢儀，否則要另配預抽泵就比較麻煩。（5）如果被檢對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低，就要選擇功能較全，靈敏度較高，檢漏范圍寬的氦檢儀。（6）如果檢漏地點不固定，需要經常搬運儀器時，就要選擇小型便攜式儀器。（7）在滿足檢漏基本要求的基礎上，還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否建議、維修是夠方便等方面的問題。

氦質譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。氦質譜檢漏儀主要技術指標：1.可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s；2.漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s；3.啟動時間：≤5min；4.響應時間：≤1s；5.檢漏口的壓力：1500Pa；6.電源要求：220v，50Hz，單相，10A；7.工作環境：5-35℃；8.相對濕度：≤80%；9.外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）；10.重量：64kg。使用環境：環境溫度：5～35℃；相對濕度：<80%；供電電壓：單相交流220V±10%，50Hz工作電流：10A。高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲，另一個是本底噪聲。

氦檢儀測量數據處理：漏率示值誤差，①漏率的溫度修正，標準漏孔漏率易受溫度變化影響，溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃，所以如果實際環境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致，需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環境溫度下來計算，并在測試結果中加以說明，修正方法如下:方法一:將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環境溫度下，用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值；方法二:將標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環境溫度下，用標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值。氦檢儀本底漏率值是什么？溫州國產氦質譜檢漏儀供應廠家

氦檢儀的實際應用方案很多，常用的三種檢漏方法有負壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法）。上海分體式氦質譜檢漏儀工作原理

氦檢儀漏率的校準方法：一、環境條件，校準環境溫度為(23±5)℃，校準過程中室溫變化不超過±1℃，環境相對濕度不大于80%。校準設備周圍應無明顯的溫差、氣流和強電磁場等外部干擾。環境溫度較好控制在23℃附近，因為標準漏孔的出廠標稱漏率對應的環境溫度一般為23℃。二、標準器的選擇，標準器采用滲氦型標準漏孔，漏率標稱值在(10-6～10-10)Pa·m3/s，不確定度不大于10%。精密玻璃溫度計，測量范圍(0～50)℃，不確定度U=0.04℃，k=2。上海分體式氦質譜檢漏儀工作原理