氦質譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理：一、機械維護，檢查泵的油量，如果低于低標線，則加入泵油；如果變黑或渾濁，則更換泵。使用方法見機械泵說明書。二、清洗，泄漏探測器沒有氦進入，但有一定的泄漏率指示，長期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣，在檢漏時又被釋放，造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進入氦質譜檢漏儀，在氦質譜檢漏儀下方設置過濾器，將其拆下，用酒精浸泡清洗。檢查泄漏，用棉布擦拭波紋管。三、以下是常見的故障現象、原因及解決方法。斷電：1.電源線連接不當；2、保險管熔斷。3、重新接通電源。4.更換相同規格的保險管。氦質譜檢漏儀在運行過程中不能移動。安徽無損氦質譜檢漏儀工作原理
氦檢儀進展的集中體現在如下幾個方面：（1）便攜式：較近各國推出的小型便攜式氦檢儀不只靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的氦檢儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。（5）檢漏范圍寬：現今生產的四極氦檢儀，質量范圍很寬，不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。推車式氦質譜檢漏儀使用方法氦檢儀整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
氦檢儀怎么選，這取決于客戶的需求：應用類型：(例如：生產，維護等)-干式/傳統的油泵?性能：(進入檢漏模式所需要的時間，靈敏度，響應時間，恢復時間，初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量，主要是通過以下參數：初抽的能力：(m3/h)，檢測允許的較大進氣口壓力：(mbar)，進入檢測模式所需要的時間：(s)，氦抽速：(l/s))靈敏度，較低可測的氦信號：(mbar.l/s)，響應時間：(s)，恢復時間：(s)，初抽能力：將決定進入檢測模式的時間)將決定是否只使用氦檢儀進行檢測就可以(是否需要輔助泵)。檢測允許的較大進氣口壓力：〉將決定進入檢測模式所需要的時間。進入檢測模式所需要的時間：是由初抽能力和檢測允許的較大壓力共同決定的。其他可能會影響檢測時間的參數：腔體的脫氣以及非常大的泄漏。
氦質譜檢漏儀是180°磁偏轉型的質譜分析計，其基本原理是根據離子在磁場中運動時，不同質荷比的離子具有不同的偏轉半徑來實現不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質譜室、真空系統及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當真空度P1優于200Pa時，打開入口閥1、2，關閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續對檢漏接口抽真空，當P1降至20Pa時，入口閥2關閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應時間縮短，此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。
使用氦檢儀需注意的幾個問題：(1)檢漏方法的選擇:目前,電廠采用氦檢儀檢漏通常采用負壓采樣法,該方法操作簡便,但儀器的清理時間較長。根據被檢系統的不同也可以采用真空法檢漏,即將氦檢儀的測試口直接接至真空系統的抽氣管道上,通過節流閥調節氣流以衰減氦檢儀與真空系統間的壓差,使氦檢儀正常工作,該方法檢漏效率稍高,但安裝較為復雜。(2)儀器靈敏度:靈敏度的高低直接影響檢漏的效果。氦檢儀經過一段時間的使用后,靈敏度會有所下降,嚴重時對純氦無反應。因此,平時應該經常保持儀器,特別是質譜室的清潔,定期打開氣鎮閥運行一段時間,并給旋片真空泵換油,這樣可以減少儀器對氦的記憶效應。另外還要定期用標準漏孔對儀器的靈敏度進行校驗,使氦檢儀始終保持較佳的工作狀態。由于氦質譜檢漏儀儀為高精度精密儀器，其存放和使用環境要保持干凈、衛生。上海無損氦質譜檢漏儀使用方法
氦檢儀普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發電廠、制冷工業等領域。安徽無損氦質譜檢漏儀工作原理
氦質譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護？當發現檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染。這個時候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內表面及離子源各電極部件，不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油或無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；然后用烘箱或電吹風進行干燥。如果操作正確，經過清洗維護后的氦質譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。安徽無損氦質譜檢漏儀工作原理