潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。河北實驗室環(huán)境檢測方便客戶
潔凈室的檢測狀態(tài)可分為三類(1)空態(tài)設(shè)施齊全的潔凈室所有管線接通并運行但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及生產(chǎn)人員。(2)靜態(tài)已全部建成的設(shè)施齊備的潔凈室中安裝完生產(chǎn)設(shè)備并按業(yè)主供應(yīng)商商定的方式試遠轉(zhuǎn),但場內(nèi)無生產(chǎn)人員。(3)動態(tài)設(shè)施處于按規(guī)定方式運行的狀態(tài)并有規(guī)定的人員在場以規(guī)定的方式工作。2、潔凈室與一般通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)的區(qū)別潔凈室空調(diào)是空調(diào)工程中的一種,它不僅對室內(nèi)空氣的溫度、濕度、風(fēng)速有一定要求,而且對空氣中的含塵粒數(shù)、細菌濃度等均有較高的要求。因此它不僅對通風(fēng)工程的設(shè)計施工有特殊要求對建筑布局、材料選用、施工工序、建筑做法、水暖電通及工藝本身的設(shè)計、施工均有特殊的要求與相應(yīng)的技術(shù)措施其造價也相應(yīng)提高。上海實驗室檢測值得推薦溫濕度波動范圍的控制對于某些敏感產(chǎn)品的生產(chǎn)至關(guān)重要。
5.3.1潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修,應(yīng)選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時變形小、污染物濃度符合現(xiàn)行國家有關(guān)標準規(guī)定限值的材料。潔凈室裝飾材料及密封材料不得采用釋放對室內(nèi)各種產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。5.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列規(guī)定:1潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光,便于除塵,并應(yīng)減少凹凸面。2踢腳不應(yīng)突出墻面。3潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面,當(dāng)必須采用時宜采用干燥作業(yè),抹灰應(yīng)采用符合現(xiàn)行國家標準《建筑裝飾裝修工程質(zhì)量驗收規(guī)范》GB50210中高級抹灰的要求。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層,并應(yīng)選用難燃、不開裂、耐腐蝕、耐清洗,表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。
壓差檢測要求:(1)靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關(guān)閉情況下進行。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進行,一直檢測到直通室外的房間。(3)測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可,測管口面與氣流流線平行。(4)所測量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。壓差檢測步驟:(1)先關(guān)閉所有的門。(2)用微差壓計測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。(3)記錄所有數(shù)據(jù)。壓差標準要求按照潔凈室設(shè)計或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負壓值。(1)不同級別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,應(yīng)不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,不應(yīng)小于10Pa。(3)對于空氣潔凈度等級嚴于5級(100級)的單向流潔凈室在開門時,門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級別的含塵濃度限值。(4)若達不到以上標準的要求,應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量、至合格為止。亂流(非單流)潔凈室的凈化原理是稀釋原理。一般型式為高效過濾器送風(fēng)口頂部送風(fēng)。
對單向流如5級凈化房間內(nèi)及層流工作臺測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于10分鐘后開始;對非單向流如7級、8級以上的凈化房間測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于30分鐘開始。a.采樣方法:將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點,打開培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基表面暴露0.5小時再將培養(yǎng)皿蓋上蓋后倒置。b.培養(yǎng)全部采樣結(jié)束,將培養(yǎng)皿倒置于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)。在30-35℃培養(yǎng)時間不少于48小時。每批培養(yǎng)基應(yīng)有對照試驗檢查培養(yǎng)基本身是否污染可每批選定3只培養(yǎng)皿作對照培養(yǎng)。c.菌落計數(shù)用肉眼直接計數(shù)然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養(yǎng)皿上有2個或2個以上菌落重疊可分辨時仍以2個或2個以上的菌落計數(shù)。運行確認是要證明廠房、設(shè)施和設(shè)備的穩(wěn)定、可靠的運行并符合設(shè)計的標準。湖北生物安全柜檢測優(yōu)化價格
合格的第三方潔凈室檢測機構(gòu)普遍要求要有具體的潔凈相關(guān)檢測。河北實驗室環(huán)境檢測方便客戶
a.首先應(yīng)對測試儀器、培養(yǎng)皿表面進行嚴格消毒,采樣器進入被測房間時,先用消毒房間的消毒劑滅菌。用于5級潔凈房間的采樣器宜一直放在潔凈房間。b.采樣者應(yīng)穿戴潔凈服雙手要消毒。c.開動真空泵抽氣使儀器中的殘余消毒劑蒸發(fā)時間不少于5min,并調(diào)好流量轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速。關(guān)閉真空泵放入培養(yǎng)皿蓋好蓋子后調(diào)節(jié)采樣器。d.置采樣口于采樣點后依次開啟采樣器、真空泵、轉(zhuǎn)動定時器、根據(jù)采樣量選定采樣時間。全部采樣結(jié)束后,將培養(yǎng)皿倒置于30-35℃恒溫培養(yǎng)箱中,培養(yǎng)時間不少于48h。e.用肉眼直接計數(shù),然后用5-10倍放大鏡檢查是否有遺漏,若平板上有兩個或兩個以上的菌落重疊分辨時,仍以兩個或兩個以上菌落計數(shù)。河北實驗室環(huán)境檢測方便客戶