北京半導體凈化車間潔凈室檢測服務至上

近年來，國內外一些潔凈廠房中一級用電負荷因雷擊及電源瞬時變動而引起停電事故頻繁發生，造成了較大的經濟損失，其原因不是主電源斷電，而是控制電源失電造成保護系統失靈而造成事故。電氣照明在潔凈廠房設計中也很重要。從工藝性質來看，潔凈廠房內一般從事精密視覺工作，需要高照度高質量照明。為了獲得良好和穩定的照明條件，除了解決好照明形式、光源、照度等一系列問題外，極重要的是保證供電電源的可靠性和穩定性。........空氣過濾器安裝方式應嚴密、簡便、可靠，易于檢漏和更換。北京半導體凈化車間潔凈室檢測服務至上

1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產區的上部、下部設有上下技術夾層，上技術夾層內設置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線；下技術夾層為回風道。這種形式適用于規模較小的潔凈室。2)多層潔凈室，在單向流潔凈生產區吊頂格柵以上設有送風靜壓箱或循環空氣處理設備或空氣過濾單元機組等的上技術層；在單向流潔凈生產區的活動地板以下設有回風靜壓箱或輔助生產設備或公用動力設備、管線等的下技術層。有的電子工業潔凈廠房的下技術層根據需要可為一層或二層。電子廠房環境潔凈室檢測范圍工業潔凈室--以無生命的微粒作為控制對象。

從收集的國內外潔凈室噪聲標準來看，有以下幾個特點：潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運行，滿足必要的談話聯系，提供舒適的工作環境。絕大多數標準給出的允許值在65dB(A)~70dB(A)范圍，醫療行業則更低。現行的大多數標準均以A聲壓級作為評價指標，也有少數標準對各頻帶聲壓級提出了限制。少數標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出了噪聲容許值，而大多數標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出了一個統一的容許值。

4.4.3~4.4.6控制設備噪聲首先要從聲源上考慮，設計時應選用低噪聲設備。在某些情況下，由于技術或經濟上的原因而難以做到時，則應從噪聲傳播途徑上采取降噪措施，如把高噪聲工藝設備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內。有些由于與生產聯系密切，必須置于潔凈區內的高噪聲設備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內現有潔凈廠房中，不少潔凈室將機械泵一類高噪聲設備置于潔凈室外套間或技術夾道內，潔凈室內噪聲有明顯降低。潔凈室的靜態噪聲主要來源于凈化空調系統和局部凈化設備運行噪聲，靜態噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數等因素有關。但關鍵在于凈化空調系統的布置及合理的降噪措施，不合理的設計方案必然導致較高的靜態噪聲。凈化空調系統的風機宜采取變頻措施。

3.1.1電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。3.1.2生產環境設計應根據產品品種及生產工藝要求，對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。3.1.3潔凈室（區）內產品生產過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質和清潔方式應按生產工藝要求選擇。。。潔凈室（區)與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。電子廠房環境潔凈室檢測范圍

單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動。北京半導體凈化車間潔凈室檢測服務至上

1近年來，在大規模集成電路生產(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房的建造、設計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產層送風，實際上，潔凈生產層與上技術夾層是相通的；而潔凈生產層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層，在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產設備和公用動力管線等，潔凈生產層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層，實際上，下技術夾層與潔凈生產層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層，潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。北京半導體凈化車間潔凈室檢測服務至上