1近年來,在大規模集成電路生產(前工序)用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房的建造、設計中,基本上采用多層的布置方式,在潔凈生產層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱,潔凈空氣通過FFU向潔凈生產層送風,實際上,潔凈生產層與上技術夾層是相通的;而潔凈生產層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層,在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產設備和公用動力管線等,潔凈生產層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層,實際上,下技術夾層與潔凈生產層是相通的,所以可以認為:電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層,潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。應避免出現不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。江蘇塵埃粒子潔凈室檢測評估
6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修,應選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規范》GB50222的有關規定。裝修材料的煙密度等級不應大于50,材料的煙密度等級應符合現行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關規定。6.3.2潔凈室內墻壁和頂棚的裝修應符合下列要求:1應滿足使用功能的要求,且表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔,并應減少凹凸面,2當采用踢腳時,踢腳不宜突出墻面。潔凈室檢測目的潔凈區與室外的壓差不應小于10Pa。
5.1.1隨著科學技術的發展,電子產品的更新換代、產品生產技術的發展十分迅速,以集成電路為**的微電子產品尤為***,集成電路產品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產品;以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產;微型計算機的迅速發展,使各種元器件生產發展十分迅速。因此,電子工業潔凈廠房的設計、建造必須適應這種快速發展的需要,從潔凈廠房的規劃開始,對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產品發展的靈活性,以滿足電子產品生產工藝改造和擴大生產的需求。
6.3.4潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求,且表面應平整、光滑。位于地下的技術層或技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設置外窗時,應采用雙層固定窗,并應有良好的氣密性,同時應采取防結露措施。6.3.6潔凈室(區)門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設計應符合下列要求:1應滿足使用功能的要求,構造和施工縫隙應采取密閉措施;2頂棚以上的技術層或技術夾層宜設檢修通道,3潔凈室(區)不宜設窗臺;4當地面采用活動地板時,活動地板材質和支撐方式應根據電子產品生產工藝要求選擇。6.3.7用于電子產品生產的潔凈室(區)的墻板和頂棚,宜采用輕質壁板構造。潔凈室絕不僅于“潔凈”,而必須是一個對冷熱、噪聲、照度、靜電、微振都有相當要求的多功能的綜合體。
D.3.10自凈時間檢測,應符合下列規定:1自凈時間的檢測,宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測,宜采用大氣塵或煙霧發生器等人工塵源為基準,并宜以粒子計數器進行檢測,同時應符合下列要求.1)以大氣塵為基準時,則必須將潔凈室停止運行相當時間,在室內含塵濃度已接近于大氣濃度時,測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機,定時讀數(一般可設置每間隔6s讀數一次),直到回風口處的含塵濃度回復到原來的穩定狀態,記錄下所需的時間(t)。2)以人工塵源為基準時,應將煙霧發生器放置在離地面1.8m以上室中心,發煙1~2min后停止,等待1min,測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機,方法同上。3由初始濃度(No)、室內達到穩定的濃度(N)、實際換氣次數(n),可得到計算自凈時間(to),與實測自凈時間(t)進行對比,如果t≤12to,為合格。4自凈時間檢測方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應洽商確定。工業潔凈室--以無生命的微粒作為控制對象。北京消毒液凈化車間環境潔凈室檢測哪家好
空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量。江蘇塵埃粒子潔凈室檢測評估
近年來,國內外一些潔凈廠房中一級用電負荷因雷擊及電源瞬時變動而引起停電事故頻繁發生,造成了較大的經濟損失,其原因不是主電源斷電,而是控制電源失電造成保護系統失靈而造成事故。電氣照明在潔凈廠房設計中也很重要。從工藝性質來看,潔凈廠房內一般從事精密視覺工作,需要高照度高質量照明。為了獲得良好和穩定的照明條件,除了解決好照明形式、光源、照度等一系列問題外,極重要的是保證供電電源的可靠性和穩定性。........江蘇塵埃粒子潔凈室檢測評估