河北電子廠房環境檢測

潔凈區是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間，建造和使用應減少空間內誘入、產生及滯留粒子，空間內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等要求進行控制。空氣潔凈度是指潔凈環境中空氣含塵微粒量多少的程度含塵濃度高則潔凈度低含塵濃度低則潔凈度高。空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級別來區分的，而這種級別又是用操作時間內空氣的計數含塵濃度來表示。懸浮粒子是指用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.15μm的固體和液體粒子。按氣流組織分類，潔凈室可分為三類：單向流、層流、潔凈室。河北電子廠房環境檢測

1、高效過濾器完整性

a)生物安全柜檢測的風機和燈，去掉過濾器的散流裝置和保護蓋。安放氣溶膠發生器，將氣溶膠導入安全柜，產生均勻分布的高效過濾器上游氣流。

b)打開氣溶膠光度計，進行調整；對含有氣溶膠的高效過濾器上游氣流進行測試，至少應有20ug/L PAO 。

c)光度計探頭在過濾器下游距過濾器表面不超過25mm,以小于50mm/s的掃描速率移動，使探頭掃測過濾器的整個下游一側和每個組合過濾片的邊緣，掃測路線應略微重疊。

2、噪聲

a)打開安全柜的風機和照明燈，在安全柜前面中心水平向外300mm、工作臺面上方380mm處測量噪聲；

b)關閉安全柜的風機和照明燈，如果有室外排氣風機，讓其繼續運行，在相同位置測量背景噪聲。 湖南消毒液凈化車間環境檢測相鄰不同級別潔凈室之間和潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應不小于5Pa。

無菌室使用與管理要求

1．工作室應矮小、平整，面積小，高2.2―2.3米，內部裝修應平整、光滑，無凹凸不平或棱角等，四壁及屋頂應用不透水之材質，便于擦洗及殺菌。

2．室內采光面積大，從室外應能看到室內情況。

3．為保證無菌室的潔凈，無菌室周圍需設緩沖走廊，走廊旁再設緩沖間，其面積可小于無菌室。

4．無菌室、緩沖走廊及緩沖間均設有日光燈及供消毒空氣用紫外燈，殺菌紫外燈離工作臺以1米為宜 ，其電源開關均應設在室外。

5．無菌室與緩沖間進出口應設拉門，門與窗平齊，門縫要封緊，兩門應錯開，以免空氣對流造成污染。

6．無菌室的使用與管理

（1） 無菌室應保持清潔整齊，室內存放必須的檢驗用具如酒精燈、酒精棉、火柴、鑷子、接種針、接種環等。不要放與檢測無關的物品

（2） 室內檢驗用具及凳桌等保持固定位置，不隨便移動。

（3） 每2―3周用2%石炭酸水溶液擦拭工作臺、門、窗、桌、椅及地面，然后用3%石炭酸水溶液噴霧消毒空氣，紫外燈殺菌半小時。

溫濕度潔凈室或潔凈設施溫、濕度測定，通常分為兩個檔次：一般測試和綜合測試。較早檔次適用于處于空態的交竣驗收測試，第二個檔次適用于靜態或動態的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調系統調整之后進行。進行這項檢測時，空調系統已經充分運轉，各項狀況已經穩定。每個濕度控制區至少設置一個濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩定時間。所做測量應適合實際使用的目的，待傳感器穩定之后才開始測量，測量時間不少于5分鐘。按潔凈度級別劃分為1級、2級、3級、4級、5級、6級、7級、8級、9級。9級為低等級別。

潔凈室要求：室內壓力要求一般空調對室內壓力無特殊要求，而潔凈空調為了避免外界污染空氣的滲入或不同生產車間不同物質的相互影響對不同潔凈區的正壓值均有不同的要求。在負壓潔凈室內尚有負壓度的控制要求。潔凈空調系統材料和設備的選擇、加工工藝、加工安裝環境、設備部件貯存環境為了避免被外界污染均有特殊的要求。這也是一般空調系統所沒有的。對氣密性的要求一般空調系統對系統的氣密性滲氣量雖有要求。但潔凈空調系統的要求要比一般空調系統高得多其檢測手段，各工序的標準均有嚴格措施及檢測要求。潔凈室(區)的日常運行和維護管理是保障其受控狀態持續的重要條件。排風柜檢測服務至上

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 復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

  (1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。

  潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。

  (2)潔凈管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

  (3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

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