不銹鋼硅烷燃燒廢氣凈化塔
一、產(chǎn)品概述
我公司生產(chǎn)的不銹鋼硅烷燃燒廢氣凈化塔是處理硅烷、氨氣及其他堿性可溶性氣體的廢氣凈化設(shè)備,主要用于處理太陽能電池生產(chǎn)線行業(yè)以及PECVD化學(xué)氣相沉淀工藝所產(chǎn)生的廢氣。
二、適用范圍
我公司生產(chǎn)的硅烷廢氣凈化塔,主要用于單晶硅、多晶硅行業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生的硅烷尾氣凈化。該設(shè)備的成功應(yīng)用,主要是我公司技術(shù)人員對國外半導(dǎo)體行業(yè)凈化硅烷尾氣技術(shù)方面的消化吸收,來滿足國內(nèi)太陽能、光能行業(yè),半導(dǎo)體行業(yè)及CVD化學(xué)氣體沉積工藝中產(chǎn)生的硅烷氣體凈化,有圓形和方形可選。
三、設(shè)備組成
本產(chǎn)品在結(jié)構(gòu)上主要由不銹鋼殼體、燃燒系統(tǒng)、洗滌系統(tǒng)和清渣系統(tǒng)組成。
在進氣方便采用壓縮空氣加新風(fēng)進氣口雙進風(fēng)形式,提高產(chǎn)品運行效率和可靠性。在噴淋系統(tǒng)方面,采用循環(huán)水泵與自動補水相結(jié)合的方法,風(fēng)機采用一用一備形式,這些工藝特點使得本產(chǎn)品在安全可靠性方面得到極大保證。
內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置,即使在內(nèi)部壓力突然增大的情況下仍能正常工作,同時配備了氮氣入口,更加大了設(shè)備的安全性。
在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法,沉積下來的粉塵通過排渣口排出,這使粉塵收集處理變得更容易、更有效。經(jīng)權(quán)威部門檢測,客戶單位硅烷(SiH4)去除率≥99.99%,氨氣(Nspan)以及其他水溶性的凈化率高達99.99%。
四、工作原理
本產(chǎn)品采用不銹鋼板進行制造,根據(jù)硅烷與空氣接觸而自然的特點,使硅烷在燃燒室與空氣接觸燃燒,燃燒后的氣體穿過填料層再進入廢氣凈化塔噴淋室,經(jīng)過噴淋處理,使廢氣與中和循環(huán)液接觸反應(yīng),然后進入脫液器處理后由抽風(fēng)機排入大氣。
五、選型及技術(shù)參數(shù)
六、注意事項
1 、設(shè)備安裝結(jié)束后,在試車之前必須先清除塔內(nèi)污物。
2 、加注中和液至所需范圍。
3 、開水泵運行,檢查是否正常運轉(zhuǎn),檢查壓力表是否正常。
4 、開風(fēng)機運行,檢查運轉(zhuǎn)是否正常。
5 、 CWJ 廢氣凈化塔為負壓運行,如果負壓過大則打開新風(fēng)閥進行調(diào)節(jié)。
6 、整個系統(tǒng)的風(fēng)量通過廢氣凈化塔出口管道上的調(diào)節(jié)閥進行調(diào)節(jié)。
7 、每天必須檢查儲液箱中的液位,不低于溢流口為正常。
8 、如果水泵-1 損壞需立即打開應(yīng)急補水閥進行噴淋處理。
七、客戶現(xiàn)場案例
宜興歐凱環(huán)境工程有限公司從事酸霧吸收塔,廢氣吸收塔,反滲透設(shè)備,地埋式污水處理設(shè)備、機械格柵等的設(shè)計與制造,是一家集污水處理設(shè)備、廢氣處理設(shè)備研發(fā)與制造為一體的的環(huán)保科技型企業(yè)。長期以來,歐凱環(huán)保始終致力于廢水、廢氣處理設(shè)備及其它相關(guān)產(chǎn)品的開發(fā)應(yīng)用,以豐富的產(chǎn)品線,設(shè)計、制造和安裝了從單臺地埋式污水處理設(shè)備,到包含全自動污水處理系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)在內(nèi)的大型環(huán)保系統(tǒng)配套工程,涉及眾多行業(yè),足跡遍及*和海外。
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